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LiCoO2薄膜的制备及固态薄膜电池的搭建

摘要

随着电子技术的发展，移动电话、笔记本计算机等需要的微型器件和系统也迫切需要适应它们的

电源器件。固态薄膜锂电池作为一种微型电池，其厚度仅有微米级别，而且具有高能量密度、长循环

寿命、高安全性以及结构灵活等优点，使其具有极高使用率，在微型器件与系统中有着广阔的应用空

间。钴酸锂作为优秀的正极材料之一，也是薄膜电池正极材料在最佳选择,其制备是全固态薄膜电池

的关键。本论文以钴酸锂（LiCoO2）薄膜正极为基础，较系统地研究了制备过程中影响钴酸锂正极薄

膜性质的几种因素，并在此基础上制备了固态薄膜电池。

基于以上内容，本文采