CN118817126A 柔性阵列压电传感器及其制作方法 （上海大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118817126A

(43)申请公布日2024.10.22

(21)申请号202410806894.7

(22)申请日2024.06.21

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人赵婷婷张旭东刘海张建华

(74)专利代理机构上海慧晗知识产权代理事务

所(普通合伙)31343

专利代理师李晴

(51)Int.Cl.

G01L1/16(2006.01)

权利要求书3页说明书12页附图13页

(54)发明名称

柔性阵列压电传感器及其制作方法

(57)摘要

一种柔性阵列压电传感器，柔性衬底层包括

阵列区和与阵列区相邻的引出区，阵列区包含若

干传感区和互连区，互连区为曲线且相邻互连区

之间具有间隙；下电极的第一电极部和传感区的

图形重叠，第一互连线与引出区的部分图形重

叠；柔性压电层的压电阵列区与传感区的图形重

叠，压电引出区与引出区的部分图形重叠；上电

极的第二电极部与传感区的图形重叠，第二互连

线与引出区的图形部分重叠；绝缘屏蔽层与传感

区的图形重叠；封装层与柔性衬底层的图形重

叠。从而，本发明通过保证传感器的阵列区对应

的各层均为镂空的，且互连区均为曲线，使得传

A感器具有可曲面共形的特性，兼顾保证了传感器

6的透气性。

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C

CN118817126A权利要求书1/3页

1.一种柔性阵列压电传感器，其特征在于，包括：

柔性衬底层，所述柔性衬底层包括阵列区以及与阵列区相邻的引出区，所述阵列区包

括若干呈阵列排布且相互分立的传感区、以及连接于相邻传感区之间的互连区，且相邻互

连区之间具有间隙，所述互连区平行于所述柔性衬底层表面的中心轴为曲线；

位于所述柔性衬底层上的下电极，所述下电极包括若干呈阵列排布且相互分立的第一

电极部、以及沿第一方向连接于相邻第一电极部之间的第一互连线，所述第一电极部在所

述柔性衬底层表面具有第一投影图形，所述第一投影图形与所述传感区重叠，所述第一互

连线在所述柔性衬底层表面具有第二投影图形，所述第二投影图形与所述引出区部分重

叠；

位于下电极上的柔性压电层，所述柔性压电层包括压电阵列区以及与压电阵列区相邻

的压电引出区，所述压电阵列区在所述柔性衬底层表面具有第三投影图形，所述第三投影

图形与所述传感区重叠，所述压电引出区在所述柔性衬底层表面具有第四投影图形，所述

第四投影图形与所述引出区部分重叠；

位于所述柔性压电层上的上电极，所述上电极包括若干呈阵列排布且相互分立的第二

电极部、以及沿第二方向连接于相邻第二电极部之间的第二互连线，所述第二电极部在所

述柔性衬底层表面具有第五投影图形，所述第五投影图形与所述传感区重叠，所述第二互

连线在所述柔性衬底层表面具有第六投影图形，所述第六投影图形与所述引出区部分重

叠；

位于所述上电极上的绝缘屏蔽层，所述绝缘屏蔽层在所述柔性衬底层表面具有第七投

影图形，所述第七投影图形与所述传感区重叠；

位于所述屏蔽层上的封装层，且所述封装层在所述柔性衬底层表面的第八投影图形与

所述柔性衬底层重叠。

2.如权利要求1所述的柔性阵列压电传感器，其特征在于，所述第一方向与所述第二方

向互相垂直。

3.如权利要求1所述的柔性阵列压电传感器，其特征在于，所述柔性衬底层包括柔性基

底以及位于所述柔性基底上的缓冲层。

4.如权利要求3所述的柔性阵列压电传感器，其特征在于，所述上电极以及所述下电极

的材料均为高延展性金属材料与氧化铟锡的复合电极。

5.一种柔性阵列压电传感器的制作方法，