CN115172345A 应用于uv固化的光源模块和制作方法 （广东中科半导体微纳制造技术研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115172345A(43)申请公布日2022.10.11

(21)申请号202210605362.8H01L33/62(2010.01)

(22)申请日2022.05.31

(71)申请人广东中科半导体微纳制造技术研究

院

地址528000广东省佛山市南海区狮山镇

科教路1号

申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿

生研究所

(72)发明人李文博汤乐明孙钱杨勇张智聪李光辉

(74)专利代理机构深圳市恒程创新知识产权代理有限公司44542

专利代理师戴圆圆

(51)Int.CI.

HO1L25/075(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图5页

(54)发明名称

应用于UV固化的光源模块和制作方法

(57)摘要

CN115172345A本发明公开了一种应用于UV固化的光源模块和制作方法，该应用于UV固化的光源模块包括基板和晶圆，基板包括主体以及间隔设置在主体上的第一电极和第二电极；晶圆包括第三电极和间隔设置于第三电极上的多个晶粒，各晶粒均