CN115079328A 一种几何相位光学元件制作方法及光束传播质量因子测量装置 （哈尔滨理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115079328A(43)申请公布日2022.09.20

(21)申请号202210622193.9

(22)申请日2022.06.02

(71)申请人哈尔滨理工大学

地址150080黑龙江省哈尔滨市南岗区学

府路52号

(72)发明人朱智涵陆延青

吴海俊李春宇陈鹏

(74)专利代理机构哈尔滨市航友知识产权代理

事务所(普通合伙)23216专利代理师宋诗非

(51)Int.CI.

GO2B5/30(2006.01)

G01J11/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种几何相位光学元件制作方法及光束传播质量因子测量装置

(57)摘要

CN115079328A一种几何相位光学元件制作方法及光束传播质量因子测量装置，涉及光学与光电子技术领域。上述方法包括：将多个不同传播距离的数字传播相位分布分别写入多个光栅常数不同的正弦相位光栅结构，得到多个纯相位掩膜版；将多个纯相位掩膜版叠加得到合成相位掩膜版，并进行相位深度压缩；然后将其作为目标几何相位空间分布，获得几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数；按照该光轴取向空间分布函数制作几何相位光学元件。上述装置中，入射光束依次穿

CN115079328A

至几何相位光学元件预设束腰附近，几何相位光学元件位于第三透镜的前焦面上，成像装置位于第三透镜的后焦面上。

将多个不同传播距离的数字传播相位分布分别写入多个光

将多个不同传播距离的数字传播相位分布分别写入多个光栅常数不同的正弦相位光栅结构，得到多个纯相位掩膜版

将所述多个纯相位掩膜版叠加，得到合成相位掩膜版

将所述合成相位掩膜版进行相位深度压缩

以相位深度压缩后的合成相位掩膜版作为目标几何相位空间分布，获得几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数

按照所述几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数制作几何相位光学元件

步骤一

步骤二

步骤三

步骤四

步骤五

CN115079328A权利要求书1/2页

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1.一种几何相位光学元件制作方法，其特征在于，包括：

将多个不同传播距离的数字传播相位分布分别写入多个光栅常数不同的正弦相位光栅，得到多个纯相位掩膜版；

将所述多个纯相位掩膜版叠加，得到合成相位掩膜版；

将所述合成相位掩膜版进行相位深度压缩；

以相位深度压缩后的合成相位掩膜版作为目标几何相位空间分布，获得几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数；以及

按照所述几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数制作几何相位光学元件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光轴取向空间分布函数β(x,y)为：

其中，

以光束传播方向为z方向的空间直角坐标系下的数字传播相位分布，λ为所述光束的波长，z=zλ2f2,f为与所述几何相位光学元件相配合使用的、且位于所述几何相位光学元件出射端的傅里叶透镜的焦距，i为虚数，a;和b,分别为第j个正弦相位光栅在水平方向和垂直方向的光栅常数。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述几何相位光学元件采用液晶微纳器件或介电超表面遵循偏振几何相位原理的二元光学元件制成。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述傅里叶透镜为无像差透镜。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当入射至所述几何相位光学元件的光束为圆偏振光时，所述光轴取向空间分布函数通过二分之一波片对圆偏振态光束操作的琼斯矩阵计算获得。

6.一种光束传播质量因子测量装置，其特征在于，包括采用权利要求1所述方法制成的几何相位光学元件、第一透镜、第二透镜、第三透镜以及成像装置；

入射光束依次穿过所述第一透镜、所述第二透镜、所述几何相位光学元件以及第三透镜，并入射至所述成像装置；

所述第一透镜与所述第二透镜用于将入射光场的束腰调节至所述几何相位光学元件预设束腰附近，所述几何相位光学元件位于所述第三透镜的前焦面上，所述成像装置位于所述第三透镜的后焦面上。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述几何相位光学元件的光轴取向空间分布函数β(x,y)为：

其中，

CN115079328A权利要求书2/2页

3

为以光束传