CN114985946A 一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制作方法 （北京理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114985946A(43)申请公布日2022.09.02

(21)申请号202210627715.4

(22)申请日2022.06.06

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

(72)发明人江毅崔洋姜澜张雨彤李晓炜

(74)专利代理机构北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)11639

专利代理师邬晓楠

(51)Int.CI.

B23K26/362(2014.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制

作方法

(57)摘要

CN114985946A本发明涉及一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制作方法，属于光纤传感领域，该技术通过飞秒激光在蓝宝石光纤侧表面沿着光纤轴向刻蚀出多边形的周期性的凹槽使得光纤外部周遭有效折射率降低，在蓝宝石光纤中心位置和周边形成微小的有效折射率差，使得蓝宝石光纤构成以刻蚀后的结构为外包层，未刻蚀部分为纤芯形成传光波导。本发明降低了蓝宝石光纤的传

CN114985946A

CN114985946A权利要求书1/1页

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1.一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制作方法，其特征在于：该方法首先需要以蓝宝石光纤外径为内切圆，形成正多边形结构，然后在多边形顶点的位置对蓝宝石光纤进行刻蚀，刻蚀之后的部分由于材料的去除只剩下空气，未刻蚀的部分保持原有的折射率，这样就在蓝宝石光纤表面构成了一种空气与材料相结合的多边形的周期结构，相较于之前实心的蓝宝石光纤，这种周期性结构能够降低有效折射率。

2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)采用去离子水清洗，将蓝宝石光纤表面的杂质和残留物去除；

(2)将光纤水平放置于飞秒激光加工平台，并调整激光光斑的位置，使其聚焦于光纤表面；

(3)围绕蓝宝石光纤光轴方向360°,分别在0°,60°,120°,180°,240°,300°位置，沿着蓝宝石光纤径向，采用飞秒激光刻蚀出宽度为蓝宝石光纤直径15%,深度为光纤直径30%的凹槽，从而在蓝宝石光纤侧表面形成周期排布的结构；

(4)通过去离子水将加工之后的光纤碎屑清洗干净。

3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于：包层和纤芯的相对折射率差要小于1%。

4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于：宽度与深度的比值小于0.5。

5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于：深度范围为蓝宝石光纤直径的10-35%。

CN114985946A说明书1/3页

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一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种多边形周期结构蓝宝石光纤包层的制作方法，属于光纤传感领域。

背景技术

[0002]高温恶劣环境下物理参数的测量在航空航天，能源采集，环境监测，冶金制造等领域有着广泛的需求，尤其是在航空发动机，重型燃气轮机，高超声速飞行器及火箭发动机等动力设备，工作温度接近1700℃。蓝宝石作为一种耐高温材料，其熔点在2043℃,制作成光纤之后其正常工作温度能达到1800℃。但是蓝宝石光纤是一种多模光纤，其波导形式是以自身为纤芯，空气为包层，很难实现单模或者少模传输，使用蓝宝石光纤构成光纤干涉型传感器，所形成的干涉信号包含模式耦合，模间干涉等影响，增加了信号的复杂度，不利于干涉信号的解调。

[0003]为了能更好的使用蓝宝石光纤制作光纤传感器，弗吉尼亚理工大学的王安波等人，通过浓硫酸浓磷酸的3:1混合液，在330℃的高温下腐蚀了42.5小时，将芯径为125μm的蓝宝石光纤腐蚀到9.6μm,以实现准单模传输，从而提高了信号质量(Yang,Shuo,etal.FiberBragggratingfabricatedinmicro-single-crystalsapphirefiber.Opticsletters43.1(2018):62-65.)。该化学腐蚀的工艺危险性较高，并且刻蚀速率较慢，得到的极细纤芯的蓝宝石光纤非常脆弱，不利于进行传感器的制作。美国伊利诺伊大学的P.Dragic