CN114535580A 一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法 （寰采星科技(宁波)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114535580A(43)申请公布日2022.05.27

(21)申请号202210196923.3

(22)申请日2022.03.02

(71)申请人寰采星科技(宁波)有限公司

地址315174浙江省宁波市海曙区高桥镇

新联村

(72)发明人陈鼎国

(74)专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260

专利代理师石来杰

(51)Int.CI.

B22F3/105(2006.01)

B22F3/24(2006.01)

B22F3/18(2006.01)

B22F9/08(2006.01)

C25D1/04(2006.01)

C22C

C22C

C22C

C22C

C22C

C22C

C23C

C23C

B21B

38/08(2006.01)

38/10(2006.01)

38/04(2006.01)

38/02(2006.01)

38/40(2006.01)

38/30(2006.01)14/04(2006.01)

14/24(2006.01)

1/40(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图16页

(54)发明名称

一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法

(57)摘要

CN114535580A本发明所公开的一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法，金属粗箔原材成型；至少一次对金属粗箔原材轧制成高平整度金属箔材；热处理装置根据预设温度及预设时间下对精密压延后的金属箔材进行热处理加工；利用张力整平机对压延及热处理后的金属箔材作张力整平；在张力整平处理完成后得到高平整度金属箔材，并在连续成型过程中形成成卷的金属箔材。所制作的金属箔材平整度高，且残余应力低，

CN114535580A

S101

S102

S103

S104

S105

金属粗箔原材成型

金属粗箔原材成型

精密压延

重复

最后热处理

张力整平

形成高平整度金属箔材

CN114535580A权利要求书1/3页

2

1.一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法，其特征在于，具体包括步骤如下：

S101,金属粗箔原材成型，且成型的金属粗箔材质为因瓦合金、铁镍钴合金、铁镍合金、铁镍锰合金、铁镍钴合金、铁钴铬合金中的一种；

S102,精密压延；至少一次对金属粗箔原材轧制成所需的精密厚度及平整表面的高平整度金属箔材，精密压延后制作成型的高平整度金属箔材厚度为5μm～5mm;

S103,最后热处理；热处理装置根据预设温度及预设时间下对精密压延后的金属箔材进行至少一次热处理加工；

S104,张力整平；利用张力整平机对压延及热处理后的金属箔材作至少一次的张力整平；

S105,在张力整平处理完成后得到高平整度金属箔材，并在连续成型过程中形成成卷的金属箔材。

2.根据权利要求1所述的一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法，其特征在于，因瓦合金的质量百分比组成为Ni:35～39wt%,余量为Fe和不可避免的杂质；所述铁镍合金的质量百分比组成为Ni:42～46wt%,余量为Fe和其它微量元素；所述铁镍钴合金的质量百分比组成为Ni:31～39wt%,Co:0.02～6wt%,余量为Fe和其它微量元素；所述铁镍锰的质量百分比组成为Ni:35～37wt%,Mn、Si、Cr的总量为0.001～1wt%,余量为Fe和其它微量元素；所述铁钴铬的质量百分比组成为Co:52～54wt%,Cr:9～10wt%,余量为Fe和其它微量元素。

3.根据权利要求2所述的一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法，其特征在于，在步骤S104中，作张力整平时，张力整平机所施加的张力范围为3～30kgf/mm2,并且，在干燥的还原气体、以及氧含量在100ppm以下的氛围下，或者在还原氛围下，或者在真空环境下，对得到的金属箔材进行消除残余应力的处理，其处理温度为105±50℃,时间为2～60分钟。

4.根据权利要求3所述的一种适合制作金属掩模版的高平整度金属箔材制备方法，其特征在于，在步骤S101中，金属粗箔原材成型方法如下：

S1011,金属粉末装填；将洁净金属粉末经粒径筛选后装填至激光熔接加工设备的金属粉末分注器中；

S1012,金属粗箔成型；金属粉末分注器将金属粉末均匀注入至