CN114388260A 一种元器件电极的制作方法 （广东风华高新科技股份有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114388260A

(43)申请公布日2022.04.22

(21)申请号202111577937.1

(22)申请日2021.12.21

(71)申请人广东风华高新科技股份有限公司地址526000广东省肇庆市风华路18号风

华电子工业城

(72)发明人李强朱秀美李肇龙庞孔鑫

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202

代理人颜希文郝传鑫

(51)Int.CI.

HO1F41/34(2006.01)

HO1F41/00(2006.01)

HO1F41/02(2006.01)

H01F17/00(2006.01)

H01F27/29(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种元器件电极的制作方法

(57)摘要

CN114388260A本发明提供一种元器件电极的制作方法，包括以下步骤：(1)流延铁氧体基材：将铁氧体浆料涂布流延，干燥后形成铁氧体基材；(2)离型膜印刷导电胶：在PET离型膜上，印刷感光导电胶层，加热干燥；(3)掩膜曝光：在干燥后的感光导电胶上方放置电极图形掩膜，通过紫外线照射，使感光导电胶曝光固化变性；(4)冲淋显影：使用显影液冲淋显影，在PET离型膜上形成电极图形；(5)温压转移：将PET离型膜上形成的电极图形在一定的温度和压力的作用下，转移到铁氧体基材上。本发明通过自制铁氧体浆料和感光导电胶及

CN114388260A

配制浆料

配制浆料离型膜印刷导电胶

流延铁氧体基材掩膜曝光

冲淋显影

温压转移

高质量、超细电极

CN114388260A权利要求书1/1页

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1.一种元器件电极的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)流延铁氧体基材：将铁氧体浆料涂布流延，干燥后形成铁氧体基材；

(2)离型膜印刷导电胶：在PET离型膜上，印刷感光导电胶层，加热干燥；

(3)掩膜曝光：在干燥后的感光导电胶上方放置电极图形掩膜，通过紫外线照射，使感光导电胶曝光固化变性；

(4)冲淋显影：使用显影液冲淋显影，在PET离型膜上形成电极图形；

(5)温压转移：将PET离型膜上形成的电极图形在温度和压力的作用下，转移到铁氧体基材上。

2.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(1)中，铁氧体基材的厚度为10～50μm。

3.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，PET离型膜厚度为40～60μm,所述感光导电胶层的印刷厚度为5～20μm。

4.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，感光导电胶按重量百分比含量计，包括以下组分：导电粉末79～81%、玻璃组分1.5～2.8%、感光性树脂组合物16.2～19.5%。

5.根据权利要求4所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，感光导电胶按重量百分比含量计，包括以下组分：导电粉末80%、玻璃组分2%、感光性树脂组合物18%。

6.根据权利要求4或5所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述导电粉末选自银粉；所述玻璃组分选自Na?SiO?、CaSiO?、SiO?、Na?0·Ca0·6SiO?硅酸盐复盐中的至少一种；所述感光性树脂组合物选自聚乙烯醇肉桂酸酯类树脂、PVB树脂、乙基纤维素中的至少一种。

7.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(3)使用的紫外线的波长为365nm。

8.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(4)显影液为质量分数为0.2～0.4wt%的碳酸钠溶液。

9.根据权利要求1所述元器件电极的制作方法，其特征在于，所述步骤(5),将PET离型膜上形成的电极图形在温度为60～70℃下、单位压力为3～5T/cm2的作用下，转移到铁氧体基材上。

10.一种如权利要求1～9任一项所述的制作方法所制得的元器件电极。

CN114388260A说明书1/4页

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一种元器件电极的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及电子元器件技术