远程等离子体源，全球前11强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdfVIP

全球市场研究报告

远程等离子体源全球市场总体规模

远程等离子体源（RemotePlasmaSource，RPS）是一种用于产生等离子体的装置，它通常被用于在真空环

境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。RPS通过将气体输送到装置中，利用电场或者磁场产生

等离子体，然后将等离子体传输到需要处理的表面区域。与传统等离子体源不同的是，RPS通常不直接接

触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子体输送到目标表面，因此被称为“远程等

离子体源”。

RPS的主要优点在于它可以实现对表面的均匀处理，而且对于一些敏感的表面或者材料，由于远离等离子

体，因此减少了对表面的热和化学损伤。此外，RPS可以被集成到真空处理系统中，使得表面处理和材料

改性的工艺更加灵活和高效。

据QYResearch调研团队最新报告“全球远程等离子体源市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球远

程等离子体源市场规模将达到19.7亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为23.5%。

图.远程等离子体源

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图.远程等离子体源，全球市场总体规模

GlobalMarketSize($Mn)

202020252031

如上图表/数据，摘自QYResearch最新报告“全球远程等离子体源市场研究报告2025-2031”.

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图.全球远程等离子体源市场前11强生产商排名及市场占有率（基于2024年调研数据；目前最新数据

以本公司最新调研数据为准）

全球市场主要企业排名

MKSInstruments

AdvancedEnergy

NewPowerPlasma

Veeco

神州半导体（芯越半导）

Samco-ucp

MueggeGmbH

EN2CORETechnology

PIEScientific

恒运昌

上海励兆科技

如上图表/数据，摘自QYResearch报告“全球远程等离子体源市场研究报告2025-2031”，排名基于2024数据。目前最新数据，以本公司

最新调研数据为准。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内远程等离子体源生产商主要包括MKSInstruments、

AdvancedEnergy、NewPowerPlasma、Veeco、神州半导体（芯越半导）、Samco-ucp、MueggeGmbH、

EN2CORETechnology、PIEScientific、恒运昌等。2024年，全球前五大厂商占有大约77.0%的市场份额。

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图.远程等离子体源，全球市场规模，按产品类型细分，远程等离子体清洁处于主导地位

CAGR:23.5%,2025-2031

20242031

远程等离子体清洁远程等离子体处理远程等离子体清洁远程等离子体处理

202020212022202320242025202620272028202920302031

远程等离子体清洁远程等