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N型全钝化晶硅电池薄膜沉积技术研究

目录

内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

理论基础与实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1薄膜沉积技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1.1薄膜沉积技术定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.1.2薄膜沉积技术的分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2N型全钝化技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.2.1N型全钝化技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2.2N型全钝化技术的原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.3实验材料与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.3.1实验材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.3.2实验设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.4实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.4.1样品制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.4.2性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.4.3数据分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

N型全钝化晶硅电池的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.1晶硅电池工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1.1光生伏特效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.1.2光电转换过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.2N型全钝化技术在晶硅电池中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.2.1钝化层的作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

3.2.2钝化层的形成机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

N型全钝化晶硅电池的制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

4.1前驱体溶液的配制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

4.1.1前驱体溶液的组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

4.1.2前驱体溶液的配制方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

4.2薄膜沉积过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

4.2.1薄膜沉积参数的选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

4.2.2薄膜沉积工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

4.3后处理与封装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70

4.3.1后处理流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71

4.3.2封装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72

N型全钝化晶硅电池的性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

5.1光电性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76

5.1.1光电转换