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2026年半导体材料国产化工艺创新进展.docx

2026年半导体材料国产化工艺创新进展.docx

    2026年半导体材料国产化工艺创新进展范文参考

    一、2026年半导体材料国产化工艺创新进展

    1.1政策支持与产业发展

    1.2材料制备工艺创新

    1.2.1晶圆制造

    1.2.2化合物半导体材料

    1.2.3半导体薄膜材料

    1.3材料表征与分析技术

    1.3.1X射线衍射技术

    1.3.2原子力显微镜

    1.3.3扫描电镜

    1.4材料应用与创新

    1.4.1光电子器件

    1.4.2新能源

    1.4.3物联网

    二、半导体材料国产化工艺创新的关键技术

    2.1材料制备工艺的关键技术

    2.1.1薄膜沉积技术

    2.1.2离子注入技术

    2.1.3化学气相沉积技术

    2.2材料表征与分析技术

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