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公司半导体器件和集成电路电镀工工艺作业操作规程

文件名称：公司半导体器件和集成电路电镀工工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体器件和集成电路电镀工岗位的日常操作。规程旨在确保员工在电镀作业中的人身安全和设备完好，遵循国家相关法律法规和行业标准。操作者须具备相应资质，严格遵守本规程，确保生产过程的安全与效率。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

a.操作人员需佩戴防静电手套、防尘口罩、护目镜和耳塞，以防止静电、粉尘和噪音对身体的伤害。

b.防静电手套需定期检查，确保无破损，防止静电放电影响半导体器件。

c.口罩和耳塞需符合国家相关标准，确保呼吸和听力安全。

d.工作服应选择防静电、防尘材质，定期清洗和更换。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否有损坏，如螺丝松动、电线裸露等。

b.检查设备接地是否良好，确保设备稳定运行。

c.检查设备各部件是否正常，如电镀槽、电极、泵等。

d.检查电源电压是否稳定，符合设备要求。

e.检查设备控制面板是否正常，各项参数设置是否符合工艺要求。

3.作业区域的准备要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物，防止绊倒和滑倒事故。

b.设备周围应留出足够的空间，方便操作和维护。

c.通风系统应正常工作，确保工作区域空气流通，降低有害气体浓度。

d.检查紧急停止按钮是否处于正常状态，便于紧急情况下切断电源。

e.工作区域应配备消防器材，如灭火器、消防栓等，并确保其有效性。

f.操作人员应熟悉紧急疏散路线，确保在发生紧急情况时能迅速撤离。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.首先开启通风系统，确保工作区域空气流通。

b.检查设备状态，确认设备正常后，开启电源。

c.根据工艺要求设置设备参数，如电流、电压、温度等。

d.启动设备，开始电镀过程，操作人员需密切观察设备运行状态。

e.电镀过程中，定期检查溶液成分和浓度，确保工艺参数稳定。

f.电镀完成后，关闭设备电源，进行清洗、干燥等后续处理。

g.关闭通风系统，清理工作区域，确保环境卫生。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于高纯度电镀，需严格控制溶液成分和温度，防止杂质污染。

b.在进行大面积电镀时，应分批进行，避免溶液浓度波动过大。

c.对于复杂形状的半导体器件，需调整电镀参数，确保电镀均匀性。

3.异常工况的处理方法：

a.若发现设备异常，应立即停止操作，切断电源，通知维修人员。

b.若电镀溶液发生异常，如变色、沉淀等，应停止电镀，更换溶液。

c.若设备出现漏电现象，应立即停止操作，切断电源，确保安全后再进行维修。

d.若操作过程中出现异味或烟雾，应立即停止操作，开启通风系统，查找原因。

e.在处理异常情况时，操作人员应佩戴必要的防护用具，确保自身安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.电流：设备运行时，电流应稳定在设定值，波动范围在±5%以内。

b.电压：电压应稳定在220V±10%，波动过大可能导致设备运行不稳定。

c.温度：电镀槽温度应控制在工艺要求的范围内，通常在40-60℃之间。

d.溶液浓度：电镀溶液的浓度应定期检测，确保在工艺规定的范围内。

e.通风：通风系统应保持正常工作，确保工作区域空气流通，降低有害气体浓度。

2.典型故障现象：

a.设备运行时电流波动过大，可能由于电源不稳定或设备内部故障引起。

b.设备运行时电压异常，可能由于电源故障或设备内部电路问题。

c.电镀槽温度失控，可能由于加热器故障或温度控制系统失灵。

d.溶液浓度异常，可能由于溶液添加不当或溶液循环系统故障。

e.通风系统故障，可能导致有害气体积聚，影响操作人员健康。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期检查设备运行参数，如电流、电压、温度等，确保在正常范围内。

b.使用专业仪器对溶液浓度进行定期检测，确保电镀质量。

c.观察设备运行状态，如噪音、振动等，及时发现异常情况。

d.定期检查通风系统，确保其正常工作，防止有害气体积聚。

e.设备出现故障时，应立即停止操作，按照故障处理流程进行处理。

f.操作人员应接受专业培训，熟悉设备操作和故障处理流程。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的检测项目：

a.检测电流和电压，确保它们稳定在工艺要求的范围内。

b.监测电镀槽的温度，通过温度控制器保证温度的恒定。

c.定期检测溶液的pH值和电导率，以维持溶液的稳定性和电镀效果。

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