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- 2026-02-06 发布于浙江
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《GBT46227-2025半导体单晶材料透过率测试方
法》巩固测试试卷
总分:100分考试时间:90分钟
一、单项选择题(每题2分,共15题,总计30分)
1.GB/T46227-2025标准规适用于在哪个波长范围的透过率测定?
A.紫外-可见波段
B.近红外波段
C.0.2µm~300µm
D.0.2µm~1000µm
2.下列哪种材料不在本文件适用范围内?
A.硅
B.氮化镓
C.碳化硅
D.玻璃
3.根据标准,“背景光谱”是指什么?
A.样品的光谱
B.无样品存在时测量获得的谱线
C.减去背景后的样品光谱
D.标准样品的光谱
4.对于“透过率均匀性”的测量,标准推荐了几种选点方案?
A.2种
B.3种(点、线、面)
C.4种
D.5种
5.根据“点扫描方案”,对于圆形样品的中心点位置要求,是两条至少成多少
度角的直径交点?
A.30°
B.45°
C.60°
D.90°
6.在“试验条件”中,规定测量环境相对湿度应不大于多少?
A.40%
B.60%
C.70%
D.80%
7.对于“9.3检查红外光谱仪中刻度的线性度”,监测区熔硅样品在多少波数
范围内的透过率应达到53.8%±1%?
A.1000cm⁻¹~2000cm⁻¹
B.2000cm⁻¹~4000cm⁻¹
C.4000cm⁻¹~6000cm⁻¹
D.6000cm⁻¹~8000cm⁻¹
8.根据“9.10”规定,为减少随机误差,在样品的同一测量位置应重复测量多少
次后取平均值?
A.2次
B.3次
C.5次
D.10次
9.测量样品厚度差应不大于多少?
A.0.001mm
B.0.01mm
C.0.05mm
D.0.1mm
10.在圆形样品的“线扫描方案”中,各等间距点的起测点距边缘应为多少?
A.2.0mm
B.4.0mm
C.6.0mm
D.8.0mm
11.为了减少双折射晶体对测量精度的影响,标准建议采用哪种附件?
A.平行光附件
B.积分球
C.偏振片
D.衰减片
12.利用量具设备测量样品尺寸与厚度时,其精度要求应优于多少?
A.0.001mm
B.0.01mm
C.0.1mm
D.1mm
13.样品在样品架上的放置要求是?
A.与光束呈45°角
B.垂直于测量光束的轴线方向
C.平行于测量光束
D.随意放置,不影响测量
14.按照标准给出的公式(1)计算透过率T,其中符号“κ”代表什么?
A.折射率
B.散射系数
C.吸收系数
D.反射系数
15.标准“表1”给出了各测量项目对应的测量波长范围。经查阅,紫外、可见及
近红外分光光度计建议的波长范围是?
A.0.2µm~12µm
B.0.2µm~2.5µm
C.2.5µm~50µm
D.10µm~300µm
二、多项选择题(每题3分,共10题,总计30分。每题有2个或2个
以上正确选项,多选、少选、错选均不得分)
1.下列哪些是本文件的规范性引用文件?
A.GB/T8170
B.GB/T13962
C.GB/T14264
D.GB/T22464
E.SJ/T11436
2.本文件定义的术语中,下列说法正确的有?
A.“透过率”是透射光通量与起始光通量的百分比
B.“透过率均匀性”是指不同样品间透过率的差异
C.“背景光谱”是在无样品时测量获得
D.“样品光谱”是测量样品的光谱扣除背景光谱后获得
E.“反射比”是反射光通量与起始光通量的百分比(错,本文件未定义)
3.关于试验环境的要求,哪些是正确的?
A.温度:24℃±4℃
B.温度:23℃±2℃
C.相对湿度不大于60%
D.实验室应清洁,无电磁干扰、振动
E.需要有特殊的光学暗室
4.标准规定的红外光谱仪的核心性能参数要求包括?
A.光谱范围:33cm⁻¹~4000cm⁻¹
B.波长范围:2.5µm~300µm
C.分辨率不低于4cm⁻¹
D.信噪比不低于10000:1
E.波长精度不低于0.01nm
5.关于样品制备的要求,哪些是正确的?
A.样品应双面抛光
B.厚度差应不大于0.
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