《GBT 46227-2025 半导体单晶材料透过率测试方法》巩固测试试卷及参考答案.pdfVIP

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  • 2026-02-06 发布于浙江
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《GBT 46227-2025 半导体单晶材料透过率测试方法》巩固测试试卷及参考答案.pdf

《GBT46227-2025半导体单晶材料透过率测试方

法》巩固测试试卷

总分:100分考试时间:90分钟

一、单项选择题(每题2分,共15题,总计30分)

1.GB/T46227-2025标准规适用于在哪个波长范围的透过率测定?

A.紫外-可见波段

B.近红外波段

C.0.2µm~300µm

D.0.2µm~1000µm

2.下列哪种材料不在本文件适用范围内?

A.硅

B.氮化镓

C.碳化硅

D.玻璃

3.根据标准,“背景光谱”是指什么?

A.样品的光谱

B.无样品存在时测量获得的谱线

C.减去背景后的样品光谱

D.标准样品的光谱

4.对于“透过率均匀性”的测量,标准推荐了几种选点方案?

A.2种

B.3种(点、线、面)

C.4种

D.5种

5.根据“点扫描方案”,对于圆形样品的中心点位置要求,是两条至少成多少

度角的直径交点?

A.30°

B.45°

C.60°

D.90°

6.在“试验条件”中,规定测量环境相对湿度应不大于多少?

A.40%

B.60%

C.70%

D.80%

7.对于“9.3检查红外光谱仪中刻度的线性度”,监测区熔硅样品在多少波数

范围内的透过率应达到53.8%±1%?

A.1000cm⁻¹~2000cm⁻¹

B.2000cm⁻¹~4000cm⁻¹

C.4000cm⁻¹~6000cm⁻¹

D.6000cm⁻¹~8000cm⁻¹

8.根据“9.10”规定,为减少随机误差,在样品的同一测量位置应重复测量多少

次后取平均值?

A.2次

B.3次

C.5次

D.10次

9.测量样品厚度差应不大于多少?

A.0.001mm

B.0.01mm

C.0.05mm

D.0.1mm

10.在圆形样品的“线扫描方案”中,各等间距点的起测点距边缘应为多少?

A.2.0mm

B.4.0mm

C.6.0mm

D.8.0mm

11.为了减少双折射晶体对测量精度的影响,标准建议采用哪种附件?

A.平行光附件

B.积分球

C.偏振片

D.衰减片

12.利用量具设备测量样品尺寸与厚度时,其精度要求应优于多少?

A.0.001mm

B.0.01mm

C.0.1mm

D.1mm

13.样品在样品架上的放置要求是?

A.与光束呈45°角

B.垂直于测量光束的轴线方向

C.平行于测量光束

D.随意放置,不影响测量

14.按照标准给出的公式(1)计算透过率T,其中符号“κ”代表什么?

A.折射率

B.散射系数

C.吸收系数

D.反射系数

15.标准“表1”给出了各测量项目对应的测量波长范围。经查阅,紫外、可见及

近红外分光光度计建议的波长范围是?

A.0.2µm~12µm

B.0.2µm~2.5µm

C.2.5µm~50µm

D.10µm~300µm

二、多项选择题(每题3分,共10题,总计30分。每题有2个或2个

以上正确选项,多选、少选、错选均不得分)

1.下列哪些是本文件的规范性引用文件?

A.GB/T8170

B.GB/T13962

C.GB/T14264

D.GB/T22464

E.SJ/T11436

2.本文件定义的术语中,下列说法正确的有?

A.“透过率”是透射光通量与起始光通量的百分比

B.“透过率均匀性”是指不同样品间透过率的差异

C.“背景光谱”是在无样品时测量获得

D.“样品光谱”是测量样品的光谱扣除背景光谱后获得

E.“反射比”是反射光通量与起始光通量的百分比(错,本文件未定义)

3.关于试验环境的要求,哪些是正确的?

A.温度:24℃±4℃

B.温度:23℃±2℃

C.相对湿度不大于60%

D.实验室应清洁,无电磁干扰、振动

E.需要有特殊的光学暗室

4.标准规定的红外光谱仪的核心性能参数要求包括?

A.光谱范围:33cm⁻¹~4000cm⁻¹

B.波长范围:2.5µm~300µm

C.分辨率不低于4cm⁻¹

D.信噪比不低于10000:1

E.波长精度不低于0.01nm

5.关于样品制备的要求,哪些是正确的?

A.样品应双面抛光

B.厚度差应不大于0.

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