CN112133794A 一种太阳能电池及其制作方法 （青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112133794A

(43)申请公布日2020.12.25

(21)申请号202011086603.X

(22)申请日2020.10.12

(71)申请人青海黄河上游水电开发有限责任公

司光伏产业技术分公司

地址810007青海省西宁市西宁经济技术

开发区昆仑东路20号

申请人黄河水电光伏产业技术有限公司

国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司

青海黄河上游水电开发有限责任公

司

(72)发明人常纪鹏张敏李得银王冬冬陈燕杨超陈丹石慧君

马岩青陶延宏

(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304

代理人孙伟峰

(51)Int.CI.

HO1L31/18(2006.01)

HO1L31/0224(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种太阳能电池及其制作方法

在

在P型硅基底的背面上进行硼掺杂后，在背面上形成保护层

去除P型硅基底的正面和侧面上形成的

非必要掺杂区后，在背面和侧面上形

成用于阻挡磷离子的隔离层

在P型硅基底的正面上进行磷掺杂，以形成正面的pn结

采用溶解液去除隔离层和保护层

在正面上形成正面电极

在背面上形成背面电极

S2

S3

S5

CN112133794A(57)摘要本发明公开了一种太阳能电池的制作方法，包括：在P型硅基底的背面上进行硼掺杂后，在背面上形成保护层；去除P型硅基底的正面和侧面上形成的非必要掺杂区后，在背面和侧面上形成用于阻挡磷离子的隔离层；在P型硅基底的正面上进行磷掺杂；去除隔离层和保护层；在正面上形成正面电极；在背面上形成背面电极。本发明公开了一种太阳能电池。本发明解决了现有技术

CN112133794A

(57)摘要

CN112133794A权利要求书1/1页

2

1.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

在P型硅基底的背面上进行硼掺杂后，在所述背面上形成保护层；

去除所述P型硅基底的正面和侧面上形成的非必要掺杂区后，在所述背面和所述侧面上形成用于阻挡磷离子的隔离层；

在所述P型硅基底的正面上进行磷掺杂；

去除所述隔离层和所述保护层；

在所述正面上形成正面电极；

在所述背面上形成背面电极。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，去除所述隔离层和所述保护层之前，所述制作方法还包括：

对所述正面的即将形成所述正面电极的区域进行二次磷掺杂，以形成选择性发射区。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，在所述正面上形成所述正面电极之前，所述制作方法还包括：在所述正面上形成增透层。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，在所述正面上形成所述正面电极的方法包括：

在所述增透层上印刷含有腐蚀性溶剂的银浆，使所述银浆刻穿所述增透层后与所述选择性发射区进行接触；

固化所述银浆，以形成所述正面电极。

5.根据权利要求1至4任一所述的制作方法，其特征在于，在所述背面上形成背面电极之前，所述制作方法还包括：在所述背面上形成钝化层。

6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，在所述背面上形成背面电极的方法包括：

在所述钝化层上印刷含有腐蚀性溶剂的银浆，使所述银浆刻穿所述钝化层后与所述背面进行接触；

固化所述银浆，以形成所述背面电极。

7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述隔离层由二氧化硅或者氮化硅制成，所述溶解液为氢氟酸溶液。

8.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述P型硅基底的正面上进行磷掺杂之前，所述制作方法还包括：

在室温条件下，采用体积比为5%～15%的氢氧化钠溶液，对所述正面进行30秒～120秒的清洗；

对清洗后的所述正面进行制绒。

9.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述P型硅基底的背面上进行硼掺杂之前，所述制作方法还包括：

将所述P型硅基底浸泡在体积比为2%～5%的氢氧化钠或者氢氧化钾溶液与去离子水的混合溶液中进行抛光；

其中，所述混合溶液的温度为70℃~80℃,抛光时间为3分钟～5分钟。

10.一种太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池由权利要求1至9任一所述的制作方法来制作。

CN112133794A说明