自动周期选取的DFT方法在TFT-LCD平板检测中的应用.docxVIP

第30卷第3期2016年3月

第30卷第3期

2016年3月

Vol.30No.3,361·

JOURNALOFELECTRONICMEASUREMENTANDINSTRUMENTATION

DOI:10.13382/j.jemi.2016.03.005

自动周期选取的DFT方法在TFT-LCD平板检测中的应用*

张腾达卢荣胜

(合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009)

摘要：在THT-LCD平板表面缺陷检测中，一维DFT方法非常有效，空间域图像中周期△x作为关键参数之一，需要准确地获取。传统的△x的获取是通过人工手动计算得到的，为了自动获取△x,设计了自动周期选取算法，利用数学统计对一维无缺陷图像进行处理，通过提取峰值位置、排序、计算间距和统计次数，得到准确的△x。搭建了TFT-LCD平板检测实验系统，实验对不同长度(N=256、320和400)、不同分辨率(8.1、9.5和10.7μm/像素)、不同光照下的图像进行处理，能够准确地获取△x,准确率达100%。将选取的△x应用于缺陷检测中，系统可以准确检测出缺陷区域，证明了该选取方法具有良好的实用性和鲁棒性。

关键词：TFT-LCD;缺陷检测；一维傅里叶变换；周期△x

中图分类号：TP182;TN911.73文献标识码：A国家标准学科分类代码：510.4050

AutomaticperiodselectionforDFTmethodintheapplicationofTFT-LCDpaneldetection

ZhangTengdaLuRongsheng

(SchoolofInstrumentScienceandOpto-electronicsEngineering,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China)

Abstract:Onedimensional(1D)DFTmethodisveryeffectiveforthedetectionofsurfacedefectonTFT-LCDpan-el.Theperiod△xinthespatialdomainimage,asoneofthekeyparameters,needstobeacquiredaccurately.Tra-ditionalacquisitionofthe△xiscalculatedartificially,inordertoobtainthe△xautomatically,anautomaticselec-tionalgorithmoftheperiodwasdesigned,whichutilizedmathematicalstatisticstoprocess1Dfaultlessimage.Byextractingthepeakposition,sorting,computingspacingandthenumberofstatistics,the△xisgottenaccurately.AexperimentalsystemofTFT-LCDpaneldetectionwasbuilt.Theimageswithvariouslength(N=256,320and400),resolution(8.1,9.5,and10.7μm/pixel)andilluminationwereprocessedintheexperiment.Theexper-imentalresultsshowthatthe△xisaccuratelyobtainedwithanaccuracyof100%.Byapplyingtheselected△xindefectdetection,thesystemcandetectthedefectregio