CN110906981B 基于空心微腔的海洋温盐深传感头及其制作方法 （天津大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN110906981B(45)授权公告日2024.11.19

(21)申请号201911125446.6

(22)申请日2019.11.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110906981A

(43)申请公布日2020.03.24

(73)专利权人天津大学

地址300072天津市南开区卫津路92号

(72)发明人江俊峰顾高菲刘铁根刘琨王双丁振扬张学智沈亮

刘译泽

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代

理事务所12201专利代理师李素兰

(51)Int.CI.

G01D21/02(2006.01)

(56)对比文件

CN109141489A,2019.01.04CN101788526A,2010.07.28

审查员庞尔江

权利要求书2页说明书4页附图4页

(54)发明名称

基于空心微腔的海洋温盐深传感头及其制

作方法

(57)摘要

CN110909981B本发明公开了一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头及其制作方法，包括拉锥光纤(1)、空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)、空心厚壁微管腔(12)以及传感头基体(14);所述拉锥光纤(1)具有三个锥区，三个锥区分别与空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)和空心厚壁微管腔(12)一侧垂直接触，并将空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)和空心厚壁微管腔(12)固定在传感头基体(14)中，形成了固定封装于所述传感头基体14中的温度传感模块、盐度传感模块以及深度传感模块。与现有技术相比，本发明基于空心微腔回音壁谐振模，通过解调三组透射谱图中谐振峰中

CN110909981B

CN110906981B权利要求书1/2页

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1.一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，该传感头结构包括拉锥光纤(1)、空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)、空心厚壁微管腔(12)以及传感头基体(14);所述拉锥光纤(1)具有三个锥区，三个锥区分别与空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)和空心厚壁微管腔(12)一侧垂直接触，并将空心微球腔(2)、空心薄壁微管腔(5)和空心厚壁微管腔(12)所形成的结构固定在传感头基体(14)中；其中：

所述空心微球腔(2)一侧与所述拉锥光纤(1)在所述拉锥光纤(1)的第一个锥区(15)垂直接触，所述空心微球腔(2)另一侧与传导片(4)接触，高热光系数液体(3)贯穿于所述空心微球腔(2)中，构成温度传感模块；所述空心薄壁微管腔(5)一侧入口固定过滤网(6),另一侧连接软管(7),所述空心薄壁微管腔(5)与所述拉锥光纤(1)在所述拉锥光纤(1)的第二个锥区(16)垂直接触，构成盐度传感模块；低压腔体(11)与高压腔体(10)组合，低压腔体(11)一侧入口固定所述空心厚壁微管腔(12),硅油(13)贯穿于所述高压腔体(10)、所述低压腔体(11)及所述空心厚壁微管腔(12),减压活塞(9)放置于所述低压腔体(11)中，所述高压腔体(10)一侧入口固定金属感压膜片(8),所述空心厚壁微管腔(12)与所述拉锥光纤(1)在所述拉锥光纤(1)的第三个锥区(17)垂直接触，构成深度传感模块；所述温度传感模块、所述盐度传感模块以及所述深度传感模块固定封装于所述传感头基体(14)中。

2.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述空心微球腔(2)外径为300μm~500μm,壁厚为1μm~10μm。

3.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述空心薄壁微管腔(5)外径为100μm~300μm,壁厚为1μm~10μm。

4.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述空心厚壁微管腔(12)外径为500μm~1000μm,壁厚为300μm~500μm。

5.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述拉锥光纤(1)的锥区直径为lμm~5μm。

6.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述高热光系数液体(3)至少包括无水乙醇、丙酮或环己烷。

7.如权利要求1所述的一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头，其特征在于，所述传导片(4)材料范围包括紫铜、双相钢。

8.一种基于空心微腔的海洋温盐深传感头的制作方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、