宣贯培训(2026年)《GBT 15870-1995硬面光掩模用铬薄膜》.pptxVIP

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目录

一、从微米到纳米：深度剖析GB/T15870-1995如何奠定光掩模铬薄膜技术基石并指引未来超精密图形化发展趋势

二、铬膜之魂：专家视角全方位解构标准中化学成分、晶体结构及微观形貌对掩模性能与可靠性的决定性影响

三、性能指标的“严苛尺规”：深度解读标准中薄膜厚度、光学密度、反射率及均匀性等核心参数的技术内涵与测量哲学

四、附着力的奥秘与决胜之战：探究标准如何定义与评价铬膜与基板的结合强度及其在极端制程环境下的生存法则

五、缺陷控制：从标准文本到洁净产线，剖析针孔、斑点等致命缺陷的允收标准、溯源方法及零缺陷管理策略

六、耐久性考验：结合标准与前沿应用，解析铬膜抗化学腐蚀、抗机械