宣贯培训(2026年)《GBT 16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》.pptxVIP

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目录

一、专家深度剖析：为何在先进制程时代重温光掩模缺陷分类国标具有战略紧迫性与现实指导意义？

二、未来五年，光掩模缺陷管控将如何重塑半导体产业链生态与竞争力格局？前沿趋势预测与深度洞察。

三、核心基石解码：从宏观到微观，系统解构GB/T16880-1997中缺陷分类体系的科学逻辑与层级架构。

四、尺寸定义的精髓与边界探讨：专家视角解析标准中关键尺寸参数的测量学原理与操作疑难点。

五、热点聚焦：前沿光刻技术（如EUV、纳米压印）对传统缺陷分类与尺寸定义准则提出的新挑战与新思考。

六、从标准文本到生产实践：如何将缺陷分类准则精准转化为可执行、可量化的工艺控制与验收规范？

七、(20