GBT XXXX.3 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数标准立项修订与发展报告.docx

《GB/TXXXX.3真空技术真空泵性能测量标准方法第3部分：机械增压泵的特定参数》立项与发展研究报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheProjectofGB/TXXXX.3VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringPerformanceCharacteristicsofVacuumPumps—Part3:SpecificParametersforMechanicalBoosterPumps

摘要

随着高端装备制造、半导体集成电路、新能源、新材料等战略性新兴产业的飞速发展，对真空获得设备，特别是性能优异、可靠性高的机械增压泵（罗茨真空泵）的需求日益增长。然而，长期以来，针对机械增压泵这一关键真空泵型的特定性能参数，缺乏统一、科学、可比的国际及国内测量标准，导致产品性能评价不一、市场秩序混乱，制约了行业的技术进步与高质量发展。本报告旨在系统阐述国家标准《真空技术真空泵性能测量标准方法第3部分：机械增压泵的特定参数》的立项背景、核心内容及其深远意义。

本报告首先分析了机械增压泵在真空产业链中的关键地位及其性能测量的特殊性。报告的核心内容围绕该标准项目的“目的意义”与“范围和主要技术内容”展开，详细解读了标准所规定的最大允许压差、零流量压缩比、有效压缩比及溢流阀压差这四个核心性能参数的测量原理、方法及特殊要求。这些参数是评价机械增压泵设计先进性、运行可靠性及与前置泵匹配性的关键指标。本标准的制定，有效补充和完善了ISO21360系列国际标准体系，为我国机械增压泵的设计、制造、检测、验收和应用提供了权威的技术依据。

重要结论表明，该标准的制定与实施，将彻底改变我国机械增压泵性能测量“无标可依”或“依标不一”的局面。它不仅能够规范市场、提升产品质量一致性，更能通过提供科学的测试比对方法，激发技术创新，推动我国真空泵产业结构的优化升级，助力我国从真空设备制造大国向制造强国迈进，对保障相关下游产业链的自主可控与安全稳定具有重要的战略支撑作用。

关键词

-真空技术/VacuumTechnology

-机械增压泵/MechanicalBoosterPump

-罗茨真空泵/RootsVacuumPump

-性能测量/PerformanceMeasurement

-最大允许压差/MaximumAllowablePressureDifference

-压缩比/CompressionRatio

-标准化/Standardization

-真空泵产业/VacuumPumpIndustry

正文

一、立项背景与行业需求

真空技术是现代工业与科学研究的基础支撑技术之一，广泛应用于半导体制造、平板显示、光伏太阳能、航空航天、医疗器械、科学仪器等高新技术领域。真空泵作为获得和维持真空环境的核心设备，其性能的准确评价至关重要。

机械增压泵，在国际国内亦普遍称为罗茨真空泵，是容积式真空泵家族中的重要成员。它凭借在中等真空范围内抽速大、启动快、能耗相对较低、对粉尘不敏感等优点，常作为中间泵与油封旋片泵、螺杆泵等前级泵串联使用，构成性能优异的抽气机组，是当前中真空领域应用最广泛的泵型之一。

然而，与常见的旋片泵、螺杆泵等容积泵不同，机械增压泵的工作原理（无内压缩、靠间隙密封）决定了其具有独特的性能特征，如对前后压差极为敏感、存在“最大允许压差”这一临界安全参数等。长期以来，国内外缺乏专门针对这些特定参数的标准化测量方法。各生产厂商和检测机构往往采用自定义的、不统一的测试条件与程序，导致测得的“压缩比”、“最大压差”等关键数据缺乏可比性。这种状况严重影响了产品的公正评价、用户的合理选型、市场的有序竞争以及技术的迭代创新。因此，制定一项专门针对机械增压泵特定性能参数的测量标准，已成为行业发展的迫切需求。

二、标准制定的目的与意义

本部分标准（GB/TXXXX.3）的制定，具有多重深远的意义：

1.完善标准体系，与国际接轨：本部分是对国际标准ISO21360-1（通用要求）和ISO21360-2（容积真空泵测量）的有效补充和细化。它聚焦于ISO标准体系中未详尽规定的机械增压泵特殊性能，使我国真空泵测量标准体系更加完整，并保持了与国际先进标准的技术同步，有利于我国真空产品参与国际竞争与合作。

2.提供权威技术依据，规范行业行为：标准首次在国内权威性地规定了机械增压泵四大核心性能参数——最大允许压差(Δpmax)、有效压缩比(Keff)、零流量压缩比(K0)和溢流阀压差(Δp1)——的测量方法。这为泵的设计优化提供了明确的目标，为制造过