《互换性与测量技术基础》_第5章.ppt

5.5表面粗糙度的检测

3．干涉法干涉法是利用光波干涉原理来测量表面粗糙度，常用的仪器是干涉显微镜，通常用于测量Rz参数，并可测到较小的参数值，一般测量范围是0.03～1μm。上一页下一页返回5.5表面粗糙度的检测

4．接触法接触法又称针描法，实验室是利用金刚石针尖与被测表面相接触，当针尖以一定的速度沿着被测表面移动时，被测量表面的微观不平将使针尖在垂直于表面轮廓方向产生上下移动，将这种上下移动转换为电量并加以处理，即可获得表面粗糙度的参数值，也可由记录装置绘出轮廓的放大图像。采用接触法测量表面粗糙度常用的仪器是电动轮廓仪，它可以直接显示Ra值，也可经放大器记录出