芯片光谱仪中多模光纤与氮氧化硅光波导耦合技术的深度剖析与优化策略.docxVIP

芯片光谱仪中多模光纤与氮氧化硅光波导耦合技术的深度剖析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的今天，光谱分析技术作为一种强大的物质成分和结构分析手段，广泛应用于环境监测、食品安全、化学分析、医药产业以及天文学等众多领域。传统的大型光谱仪体积庞大、价格昂贵，且需要专业人员操作，这在很大程度上限制了其应用范围。随着集成光学和微纳加工技术的不断进步，芯片光谱仪应运而生，为光谱分析的微型化、便携化和低成本化提供了可能。

芯片光谱仪是将光谱分析所需的各种光学元件，如光源、波导、光栅、探测器等，集成在一块微小的芯片上，实现了光谱分析系统的高度集成化。这种小型化的光谱仪不仅体积小、