CN1819264A 金刚石晶体管及其制作方法 （山东泉舜科技有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200510131199.2

[51]Int.Cl.

HO1L29/772(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

[43]公开日2006年8月16日[11]公开号CN1819264A

[22]申请日2005.12.30

[21]申请号200510131199.2

[71]申请人山东泉舜科技有限公司

地址250101山东省济南市高新区环境保护

科技园往南100米

[72]发明人李西勤赵仕忠

[74]专利代理机构山东济南齐鲁科技专利事务所有限公司

代理人宋永丽

权利要求书2页说明书4页附图2页

[54]发明名称

金刚石晶体管及其制作方法

[57]摘要

本发明提供一种金刚石晶体管及其制作方法，金刚石晶体管包括金属壳体，金属壳体内包覆金刚石体，金刚石体的表面上分别设置金制漏极S、铝制栅极G和金制源极D,金刚石体的表面上具有场效应层。它不需要在金刚石表面包覆薄膜，使其具有耐高温性能好的同时，导电性能好、功率大、频率高。

200510131199.2权利要求书第1/2页

2

1、金刚石晶体管，其特征在于：包括金属壳体(1),金属壳体(1)内包覆金刚石体(2),金刚石体(2)的表面上分别设置金制漏极S、铝制栅极G和金制源极D,金刚石体(2)的表面上具有场效应层。

2、根据权利要求1所述的金刚石晶体管，其特征在于：金刚石体(2)呈矩形，金刚石体(2)的厚度为0.5—3.5毫米。

3、根据权利要求1所述的金刚石晶体管，其特征在于：金刚石体(2)两侧表面上均分别设置金制漏极S、铝制栅极G和金制源极D。

4、根据权利要求1、2或3所述的金刚石晶体管，其特征在于：金刚石体(2)表面上的场效应层电阻极小，电流大，导电特性呈倾斜直线。

5、上述权利要求所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：其步骤如下：(1)、将金刚石体采用等离子设备在500-1500C高温下处理，处理

0.5-3.5小时，使金刚石体被处理的表面呈现场效应层；(2)、做出源极漏极和栅极电极图，根据电极图形制成正胶版；(3)、金刚石体表面清洗干净，进行第一次光刻，使金刚石体表面呈现源极和漏极；(4)、将金材设置到金刚石体上，使源极和漏极引出；(5)、进行第二次光刻，金刚石体表面呈现栅极；(6)、采用热蒸发将铝材粘合到金刚石体表面，栅极引出；(7)、键合引线，烘干；(8)、采用金属壳体进行封装。

6、根据权利要求5所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：场效应层的导电特性呈倾斜直线。

200510131199.2权利要求书第2/2页

3

7、根据权利要求5或6所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：电极图形为，栅极G设有第一矩形(4),第一矩形(4)与圆环(3)连接，圆环(3)内腔是源极D,源极D为圆形(5),栅极G圆环(3)的外围是开口式圆环(6),圆环(3)与栅极第一矩形(4)的对应处是第二矩形(7),开口式圆环(6)与圆环(3)之间设置第一间隙(8),圆环(3)与圆形(5)之间设置第二间隙(9)。

8、根据权利要求7所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：将金刚石体(2)采用等离子设备在700—1100C高温下处理。

9、根据权利要求8所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：将金刚石体(2)采用等离子设备在700—1100°C高温下处理，处理1-3小时，使金刚石体(2)被处理的表面呈现场效应层。

10、根据权利要求9所述的金刚石晶体管的制作方法，其特征在于：将金刚石体(2)采用等离子设备在800—1000C高温下处理。

200510131199.2说明书第1/4页

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金刚石晶体管及其制作方法

技术领域

本发明涉及晶体管，是一种金刚石晶体管及其制作方法。

背景技术

目前世界范围内公认金刚石没有导电性，然而，由于它具有耐高温性能，本领域试图