CN102092931A 一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102092931A

(43)申请公布日2011.06.15

(21)申请号201010562248.9

(22)申请日2010.11.26

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人蔡志祥曾晓雁段军胡乾午

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

42201

代理人曹葆青

(51)Int.CI.

C03BCO3C

33/08(2006.01)23/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置

(57)摘要

CN102092931A本发明公开了一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置，方法为：①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；②将由纳秒激光器发出的激光通过聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道。该装置包括三维平台、超声波清洗机