CN102092931B 一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN102092931B

(45)授权公告日2012.08.15

(21)申请号201010562248.9

(22)申请日2010.11.26

(73)专利权人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人蔡志祥曾晓雁段军胡乾午

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

42201

代理人曹葆青

CN101571603A,2009.11.04,审查员唐志勇

权利要求书1页说明书5页附图1页

(51)Int.CI.

C03BCO3C

33/08(2006.01)23/00(2006.01)

(56)对比文件

US2005/0023246A1,2005.02.03,

(54)发明名称

一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置

(57)摘要

CN102092931B本发明公开了一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置，方法为：①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；②将由纳秒激光器发出的激光通过聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道。该装置包括三维平台、超声波清洗机、支架和聚集镜。工作时，超声波清洗机固定在三维平台上；待加工玻璃材料通过支架放置于超声波清洗机腔体内，聚集镜固定在三维

CN102092931B

CN102092931B权利要求书1/1页

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1.一种在玻璃材料中制作微通道的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：

①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；

②将由纳秒激光器发出的激光通过数值孔径NA为0.25～0.7的聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；

③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道；所述的纳秒激光的参数为：脉宽5～30ns,波长355～1064nm,脉冲频率1～100KHz,脉冲能量1～10mJ。

2.一种实现权利要求1所述方法的装置，其特征在于，该装置包括三维平台、超声波清洗机、支架和聚集镜；超声波清洗机在工作时固定在三维平台的水平工作台上，用于安放待加工玻璃材料的支架放置于超声波清洗机的腔体内；聚集镜固定在三维平台的垂直轴上，并位于支架的上方。

3.根据权利要求2述的装置，其特征在于，该装置还包括CCD相机和照明光源，两者分别位于待加工玻璃材料的两侧。

CN102092931B说明书1/5页

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一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置

技术领域

[0001]本发明涉及纳秒激光加工，特别是一种利用超声波水辅助纳秒激光在玻璃材料中制备三维微通道的方法及装置，本发明适用于在各种玻璃材料内部制备微纳流体器件。

背景技术

[0002]以微管道网络为结构特征的微流控芯片是当前十分活跃的研究领域，在化学分析、材料合成及细胞培养等领域都得到了应用。玻璃以其稳定的上表面性质、好的透光性及弱的荧光背景成为普遍使用的微流控芯片材料。目前玻璃芯片的加工主要基于光刻和湿法腐蚀，即利用光刻技术在牺牲层制作图案窗口，继而使用化学腐蚀溶液进行腐蚀加工。对于三维立体微通道的制备，还需要一系列诸如层叠和熔接等复杂的步骤。该方法所涉及的光刻步骤需要昂贵的仪器和超净室以及繁琐的步骤，不利于在普通实验室中推广；而且由于玻璃属于各向同性材料，通过该方法成型的微通道通常具有较小的深宽比(最大0.5左右),这大大限制了玻璃的应用范围。

[0003]飞秒激光是一种脉宽极窄(10?1?s)、峰值功率极高的超短脉冲激光。与长脉冲激光加工相比，飞秒激光加工精度高、热影响区域小，而且还能加工透明材料。利用飞秒激光微加工技术有望克服上述传统加工技术所面临的各种困难，直接在玻璃材料内部加工出真正的三维微通道