单晶硅表面微结构的超精密车削成型技术.docxVIP

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机械工程师

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单晶硅表面微结构的超精密车削成型技术

廖路，傅刚，喻甫军

（中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900）

摘要：采用超精密切削加工方法进行单晶硅表面微结构制备，实验获得了一组优化的工艺参数，并在此基础上开展了不

摘要：采用超精密切削加工方法进行单晶硅表面微结构制备，实验获得了一组优化的工艺参数，并在此基础上开展了不同类型微结构的超精密切削成形实验，分别获得了金字塔阵列、V形槽阵列和正弦波阵列等不同结构，证明了在单晶硅表面制备出微结构能够使得表面反射率大大降低。

关键词：超精密车削；微结构；单晶硅

中图分类号:TG51 文献标志码:粤 文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园员9）10原园115原园3

(ResearchCenterofLaserFusion,ChinaAcademyofEngineeringPhysics,Mianyang621900,China)

Abstract:Theultra-precisionmachiningmethodisusedtopreparethemicrostructureofsinglecrystalsiliconsurface.Asetofoptimizedprocessparametersareobtained.Ultra-precisioncuttingandformingexperimentsofdifferenttypesofmicrostructuresarecarriedout,anddifferentstructuressuchaspyramidarray,V-groovearrayandsinewavearrayareobtainedrespectively.Itisprovedthatthepreparationofmicrostructureonthesurfaceofsinglecrystalsiliconcangreatlyreducethesurfacereflectivity.

Keywords:ultra-precisionturning;microstructure;monocrystallinesilicon

0引言 制备微结构时，通过X轴进给控制微结构的深度，Z轴进给

单晶硅作为一种半导体光学材料，在光学仪器领域发挥着重要作用。然而，单晶硅存在的高表面反射问题，降低了光的传输质量和光学系统的性能，限制了其进一步的应用。表面微结构是提高硅材料抗反射性能的有效方法，对光学、电子和许多其他MEMS器件都具有重要意义。同时微结构功能表面还具有超疏水、耐磨等优点，由

于这些特点，使得其在军事、通信、生化检测、医疗等领域

控制微结构的宽度。实验所采用的加

工方法为轨迹法，轨

迹法能够避免成形加 X

工方法的缺点。例如

成形法加工需定制刀具，同时一把刀具只能

C 工件

刀具

Z

都有着重要的应用[1-4]。因此，设计和制造微结构