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芯片试制配套洁净实验室租赁合同

合同编号：_________

出租方（甲方）：____________________

法定代表人/负责人：________________

地址：____________________________

联系方式：________________________

承租方（乙方）：____________________

法定代表人/负责人：________________

地址：____________________________

联系方式：________________________

鉴于甲方合法拥有位于_________（实验室具体地址）的芯片试制配套洁净实验室，具备符合芯片试制要求的洁净等级及配套设施；乙方因芯片研发、中试试制需要，拟租赁该实验室开展相关活动。甲乙双方经平等协商，达成如下协议，以资共同遵守：

第一条租赁标的

1.1本合同租赁标的为甲方名下位于_________的洁净实验室（以下简称“标的实验室”），具体区域及面积如下：

（1）光刻区：______平方米，洁净等级Class100（符合ISO14644-1标准）；

（2）测试区：______平方米，洁净等级Class1000（符合ISO14644-1标准）；

（3）辅助区（含风淋室、更衣间、纯水/氮气接驳区）：______平方米。

1.2标的实验室配套设施包括但不限于：

（1）HVAC系统（含HEPA/ULPA过滤器、温湿度控制模块）；

（2）静电耗散地面、墙面及接地系统；

（3）纯水供应系统（电阻率≥18MΩ·cm，25℃）；

（4）高纯氮气供应系统（纯度≥99.999%）；

（5）消防自动报警及灭火系统（符合GB50016标准）；

（6）独立计量电表、水表、氮气流量计、纯水流量计。

1.3标的实验室设施清单及初始状态见附件一《标的实验室设施清单及验收确认书》，双方应在交付时共同验收并签署确认。

第二条租赁用途

2.1标的实验室仅限乙方用于芯片研发、中试试制（含光刻、测试、封装前工序等），不得用于芯片成品大规模生产、存储易燃易爆物品、侵犯第三方知识产权等违法违规活动。

2.2乙方不得擅自改变标的实验室的洁净等级、用途或结构，如需变更需提前30日向甲方提交书面申请，经甲方书面同意后方可实施，变更产生的费用由乙方承担。

第三条租赁期限

3.1租赁期限自______年______月______日起至______年______月______日止，共计______个月。

3.2租赁期满前30日，乙方如需续租，应向甲方提交书面续租申请，双方协商一致后签订续租协议；若乙方未在期满前30日提出申请，视为放弃续租。

第四条租金及支付

4.1租金标准：

（1）光刻区：______元/平方米/月；

（2）测试区：______元/平方米/月；

（3）辅助区：______元/平方米/月；

月租金合计：______元（大写：_________）。

4.2支付方式：乙方应于每月10日前通过银行转账方式向甲方支付当月租金，甲方收款账户信息如下：

账户名称：____________________

开户银行：____________________

账号：________________________

4.3押金：乙方应于本合同签订之日起5日内，向甲方支付3个月租金作为押金（合计______元，大写：_________），押金不计利息。

4.4押金退还：租赁期满后，乙方结清所有应付费用（含租金、水电费、耗材费等）、标的实验室无损坏（正常损耗除外），甲方应于乙方搬离完毕后15日内将押金全额退还。

第五条双方权利义务

5.1甲方权利义务

（1）按约定时间交付符合本合同第一条要求的标的实验室，交付时双方共同签署《标的实验室设施清单及验收确认书》；

（2）负责标的实验室主体结构（墙体、地面、HVAC主干管道）及HEPA/ULPA过滤器的定期维护、更换（每12个月更换一次），费用由甲方承担；

（3）保证标的实验室持续符合约定的洁净等级、温湿度（22±2℃、相对湿度45±5%）、纯水及氮气质量标准；

（4）每季度对标的实验室洁净度、温湿度、纯水、氮气进行检测，向乙方提供检测报告；

（5）有权监督乙方的使用情况，若乙方违反本合同约定，有权要求乙方在7日内整改，拒不整改的，甲方有权解除本合同；

（6）租赁期满后有权收回标的实验室，要求乙方恢复至交付时状态（正常损耗除外）。

5.2乙方权利义务

（1）按本合同约定用途使用标的实验室，遵守附件二《洁净实验室操作规范》；

（2）负责自身设备的安装、维护，保证设备不破坏标的实验室原有结构及设施，设备接地符合静电控制要求；

（3）按时支付租金及其他费用（水电费按实际用量×______元/度/吨，氮气按______元/立方米