CN108336133B 一种碳化硅绝缘栅双极型晶体管及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN108336133B

(45)授权公告日2020.08.28

(21)申请号201810131088.9

(22)申请日2018.02.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108336133A

(43)申请公布日2018.07.27

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新西区西源

大道2006号

专利权人电子科技大学广东电子信息工程研究院

(72)发明人邓小川徐少东谭辑李轩

曹厚华曾莉尧张波

(51)Int.CI.

HO1L29/417(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

HO1L29/739(2006.01)HO1L21/28(2006.01)HO1L21/331(2006.01)

(56)对比文件

CN103928516A,2014.07.16

WO2017208734A1,2017.12.07CN206672940U,2017.11.24

US2017271467A1,2017.09.21JPH1117176