CN108199619A 互补型压电能量收集器及其制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN108199619A

(43)申请公布日2018.06.22

(21)申请号201810062460.5

(22)申请日2018.01.23

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区文苑路9

号

申请人南京邮电大学南通研究院有限公司

(72)发明人陆颢瓒戴瑞萍朱宇成王德波

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限

公司32200代理人刘莎

(51)Int.CI.

HO2N2/18(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

互补型压电能量收集器及其制作方法

(57)摘要

CN108199619A本发明公开了一种互补型压电能量收集器及其制作方法，是一种高效，具有较高的方向兼容性，且集成度高的压电式能量收集器及其制作方法。该收集器以单晶硅为衬底，在衬底上设置有多个固支梁桥墩，不同的固支梁桥墩上设置有不同方向的固支梁，固支梁表面覆有压电材料层，固支梁中心向内设置有质量块。其结构支撑方式：每个固支梁均由独立的两个桥墩支撑，桥墩同时起着引脚的作用。由于各固支梁方向相互垂直，因此外界激励沿坐标方向传播时，固支梁将只工作在同一种工作模式下，由于激励沿X轴或Y轴传播时，能量收集器中既有固支梁工作在d33模式，也有固支梁工作在d31

CN108199619A

CN108199619A权利要求书1/1页

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1.互补型压电能量收集器，其特征在于，该收集器以硅为衬底，在所述硅衬底上设置有若干固支梁桥墩、若干不同方向的MEMS固支梁，每个所述固支梁桥墩均与硅衬底连接；每个所述MEMS固支梁均通过两端的固支梁桥墩固定并悬空于硅衬底的上方，其内表面的中心处设置有质量块，外表面设置有压电片。;所述MEMS固支梁包括X向固支梁、Y向固支梁和Z向固支梁。

2.根据权利要求1所述的互补型压电能量收集器，其特征在于，所述MEMS固支梁包括X向固支梁、Y向固支梁和Z向固支梁，其中，X向固支梁的法向方向为X轴，其内表面的中心处设置有X向质量块，外表面设置有X向压电片；Y向固支梁的法向方向为Y轴，其内表面的中心处设置有Y向质量块，外表面设置有Y向压电片；Z向固支梁的法向方向为Y轴，其内表面的中心处设置有中心质量块，外表面设置有Z向压电片。

3.根据权利要求1所述的互补型压电能量收集器，其特征在于，所述MEMS固支梁包括两个X向固支梁、两个Y向固支梁和两个Z向固支梁，其中，两个X向固支梁、两个Y向固支梁围成一个方形结构且压电片朝外，两个Z向固支梁位于方形结构的中心处。

4.互补型压电能量收集器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)准备硅衬底；

2)在硅衬底上涂上光刻胶作为第一牺牲层，再通过淀积SiO?形成第二牺牲层，并在表面平面化处理后再涂上一层光刻胶；

3)光刻去除固支梁桥墩部分的光刻胶，显影后刻蚀固支梁桥墩部分的第二牺牲层和第一牺牲层；

4)溅射金属铜，形成固支梁桥墩，并在表面平面化处理后涂上光刻胶；

5)光刻去除质量块部分的光刻胶，显影后刻蚀质量块部分的第二牺牲层；

6)溅射金属镍形成质量块，并在表面平面化处理后涂上光刻胶；

7)光刻去除能量收集器所占范围以外的光刻胶，显影后刻蚀该部分的第一牺牲层和第二牺牲层；

8)在步骤7)形成结构表面电镀一层铜；

9)步骤8)形成的结构表面溅射压电材料，形成压电材料层；

10)在步骤9)形成的结构上淀积一层氮化硅，并在表面平面化处理后涂上一层光刻胶；

11)光刻并保留能量收集器所占范围内所有固支梁和压电片部分以外的光刻胶；

12)刻蚀：显影后刻蚀步骤11)中所保留位置之外的其他位置的氮化硅、压电材料以及铜；

13)去除剩余的光刻胶，同时腐蚀氮化硅；

14)腐蚀第二牺牲层，去除第一牺牲层；

15)去除衬底上多余的铜和压电材料。

5.根据权利要求4所述的互补型压电能量收集器的制作方法，其特征在于，步骤1)中采用未掺杂的单晶硅作为衬底。

6.根据权利要求4所述的互补型压电能量收集器的制作方法，其特征在于，步骤9)中溅射PZT-5系列压电材料。

CN108199619A说明书