质能异步化薄膜沉积系统的膜厚均匀性分析与修正挡板设计.pdfVIP

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质能异步化薄膜沉积系统的膜厚均匀性分析与修正挡板设计

１２２３，

吕亮，王宇翔，夏志林，于思源

１哈尔滨工业大学航天学院，哈尔滨１５０００１

４３００７０

２武汉理工大学材料科学与工程学院，武汉

１５０００１

３哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院，哈尔滨

为满足空间光学系统中对大尺寸光学薄膜厚度均匀性的高要求，对自主设计的质能异步化磁控溅射薄膜沉积系统进行了膜厚均匀性建模与分

析。该系统通过将薄膜沉积过程离散化，并引入变角度辅助离子束轰击，有效抑制节瘤缺陷，从而提升薄膜的激光损伤阈值。在此基础上，构建了适

用于该装置的膜厚分布计算模型