CN107947636B 六维压电式能量收集器及其制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107947636B(45)授权公告日2024.01.19

(21)申请号201711441423.7

(22)申请日2017.12.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107947636A

(43)申请公布日2018.04.20

(73)专利权人南京邮电大学

地址210012江苏省南京市亚东新城区文

苑路9号

专利权人南京邮电大学南通研究院有限公

司

(72)发明人陆颢瓒李江南王德波

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200

专利代理师刘莎

(51)Int.CI.

HO2N2/18(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

(56)对比文件

CN207603482U,2018.07.10

CN106341055A,2017.01.18

KR101713798B1,2017.03.08

US2003197448A1,2003.10.23

陈东红；安坤；燕乐；孔龄婕；贺婷；丑修建.基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器.传感技术学报.2015,(第12期),全文.

审查员姜涛

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

六维压电式能量收集器及其制作方法

(57)摘要

CN107947636B本发明公开了一种六维压电式能量收集器及其制作方法，该能量收集器以单晶硅为衬底，在衬底上设计有支持梁、主悬臂梁、一对第一副悬臂梁、两对第二副悬臂梁以及悬臂梁两侧的质量块、悬臂梁上的压电层。支持梁负责连接能量收集器和衬底，每个悬臂梁两端均设置有质量块，可以控制质量块的尺寸及质量来控制悬臂梁的谐振频率，同时可以加大悬臂梁的振幅，质量块还起着悬臂梁之间的连接作用。每个悬臂梁的表面设有压电材料层，在悬臂梁接收外界振动产生形变的同时，压电材料伴随悬臂梁同时振动发生形变，此时压电材料两端将产生一定的电势

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CN107947636B权利要求书1/2页

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1.六维压电式能量收集器，其特征在于，该收集器以硅为衬底，在硅衬底上设置有支持梁；所述支持梁方向与Y轴平行，且其一端连接衬底，另一端垂直连接主悬臂梁；

所述主悬臂梁方向与X轴平行且其平面法向方向为Y轴方向，所述主悬臂梁的表面设置有主压电片，所述主悬臂梁的两侧分别设置有一个主质量块，每个所述主质量块分别垂直连接一个第一副悬臂梁；

每个所述第一副悬臂梁与Y轴平行且其平面法向方向为X轴方向，每个所述第一副悬臂梁的表面分别设置有一个第一副压电片，每个所述第一副悬臂梁的两侧分别设置有一个第一副质量块，每个所述第一副质量块分别垂直连接一个第二副悬臂梁，其中，对应同一个所述第一副悬臂梁的两个第二副悬臂梁分别为一个X向第二副悬臂梁和一个Y向第二副悬臂梁；

每个所述X向第二副悬臂梁与X轴平行且其平面法向方向为Z轴方向，所述X向第二副悬臂梁的表面设置有第二副压电片，所述X向第二副悬臂梁的两侧分别设置有一个第二副质量块；每个所述Y向第二副悬臂梁与Y轴平行且其平面法向方向为Z轴方向，所述Y向第二副悬臂梁的表面设置有第二副压电片，所述Y向第二副悬臂梁的两侧分别设置有一个第二副质量块；

所述主质量块与所述第一副悬臂梁的连接处位于所述第一副悬臂梁的中点；

所述第一副质量块与所属第二副悬臂梁的连接处位于所述第二副悬臂梁的中点。

2.如权利要求1所述的六维压电式能量收集器的制作方法，其特征在于，该制作方法包括以下步骤：

1)准备硅衬底；

2)采用光刻胶作为牺牲层材料涂覆在硅衬底上形成第一牺牲层，再通过淀积Si02形成第二牺牲层，在第二牺牲层上再涂覆一层光刻胶；

3)去除支持梁区域的最上层光刻胶；

4)将支持梁部分的第一牺牲层和第二牺牲层全部刻蚀，刻蚀完毕后在支持梁区域内溅射锡青铜合金或者电镀金属铜，该工序结束后对表面进行平面化处理；

5)去除主悬臂梁和第一副悬臂梁区域的光刻胶；

6)将主悬臂梁和第一副悬臂梁区域的第二牺牲层全部刻蚀，刻蚀完毕后在主悬臂梁和第一副悬臂梁区域内溅射锡青铜合金或者电镀金属铜，形成主悬臂梁和第一副悬臂梁；

7)去除主质量块以及第一副质量块区域的光刻胶；

8)将主质量块以及第一副质量块区域的第二牺牲层全部刻蚀，刻蚀完毕后在主质量块以及第一副