CN107947636A 六维压电式能量收集器及其制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107947636A

(43)申请公布日2018.04.20

(21)申请号201711441423.7

(22)申请日2017.12.27

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区文苑路9

号

申请人南京邮电大学南通研究院有限公司

(72)发明人陆颢瓒李江南王德波

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限

公司32200代理人刘莎

(51)Int.CI.

HO2N2/18(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

六维压电式能量收集器及其制作方法

(57)摘要

CN107947636A本发明公开了一种六维压电式能量收集器及其制作方法，该能量收集器以单晶硅为衬底，在衬底上设计有支持梁、主悬臂梁、一对第一副悬臂梁、两对第二副悬臂梁以及悬臂梁两侧的质量块、悬臂梁上的压电层。支持梁负责连接能量收集器和衬底，每个悬臂梁两端均设置有质量块，可以控制质量块的尺寸及质量来控制悬臂梁的谐振频率，同时可以加大悬臂梁的