CN106783599A 制作偶极子天线的异质Ge基等离子pin二极管的制备方法 （西安科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106783599A

(43)申请公布日2017.05.31

(21)申请号201611187745.9

(22)申请日2016.12.20

(71)申请人西安科技大学

地址710054陕西省西安市雁塔路58号西

安科技大学

(72)发明人李妤晨岳改丽刘树林童军

(74)专利代理机构深圳精智联合知识产权代理有限公司44393

代理人王海栋

(51)Int.CI.

HO1L21/329(2006.01)

HO1L29/868(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

制作偶极子天线的异质Ge基等离子pin二极管的制备方法

(57)摘要

CN106783599A本发明涉及一种制作偶极子天线的异质Ge基等离子pin二极管的制备方法，所述偶极子天线的Ge基等离子pin二极管天线臂由多个Ge基等离子pin二极管依次首尾相连构成等离子pin二极管串，所述Ge基等离子pin二极管的制备方法包括：选取GeOI衬底并设置隔离区；刻蚀所述GeOI衬底形成P型沟槽和N型沟槽，氧化所述P型沟槽和所述