CN106783897A 一种宽光谱柔性红外探测器阵列及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106783897A

(43)申请公布日2017.05.31

(21)申请号201710018828.3

(22)申请日2017.01.10

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人黎威志李航陈金华李方圆太惠玲于贺蒋亚东

(74)专利代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230

代理人李春芳

(51)Int.CI.

HO1L27/144(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种宽光谱柔性红外探测器阵列及其制作方法

(57)摘要

CN106783897A本发明涉及一种宽光谱柔性红外探测器阵列，包括从下往上依次设置的柔性衬底层、支撑硅片层及敏感薄膜层；敏感薄膜层的上、下表面分别有一层金属薄膜作为上、下电极，上、下电极的重叠区域构成有效敏感单元；所述敏感薄膜层由柔性热释电聚合物构成；同时还公开了上述宽光谱柔性红外探测器阵列的制作方法。本发明结构可柔性变形，可根据需要调整其变形量，从而调整其可视范围，并且敏感薄膜具有很宽的光谱响应范围，探测光谱范围较大，因此基于本阵列

CN106783897A

CN106783897A权利要求书1/1页

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1.一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，包括从下往上依次设置的柔性衬底层、支撑硅片层及敏感薄膜层；

其中，

敏感薄膜层的上、下表面分别有一层金属薄膜作为上、下电极，上、下电极的重叠区域构成有效敏感单元；

所述敏感薄膜层由柔性热释电聚合物构成。

2.根据权利要求1所述的一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，所述柔性热释电聚合物为聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯-六氟丙烯、聚偏二氟乙烯一三氟乙烯、奇数尼龙、聚氯乙烯或聚丙烯。

3.根据权利要求1或2所述的一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，所述柔性热释电聚合物掺杂有无机压电陶瓷、无机压电晶体、金属氧化物、碳纳米管、石墨烯中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，所述敏感薄膜层采用流延铸塑、热压、悬涂或静电喷涂方式成膜。

5.根据权利要求1所述的一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，所述柔性衬底层、支撑硅片层及敏感薄膜层均采用胶接方式连接。

6.根据权利要求1所述的一种宽光谱柔性红外探测器阵列，其特征在于，所述金属薄膜为铝薄膜。

7.一种宽光谱柔性红外探测器阵列的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将柔性热释电聚合物充分溶解形成溶液，溶液涂覆在抛光基板上并高温烘烤至溶剂完全挥发形成敏感薄膜，敏感薄膜剥离后形成敏感薄膜层；

2)敏感薄膜层上、下表面采用磁控溅射方式沉积相同厚度的金属薄膜，形成上、下电极，上、下电极的重叠区域构成有效敏感单元；

3)敏感薄膜层开设将下电极引致敏感薄膜层上表面的通孔，通孔内填充金属并图形化；

4)选取与敏感薄膜层面积和形状相同的薄硅片，并在薄硅片上制备条形通孔；

5)将敏感薄膜层胶接在薄硅片上，以有效敏感单元与条形通孔中心对应设置为准；

6)采用各向异性腐蚀方式将薄硅片腐蚀形成分离的支撑柱结构，构成支撑硅片层；

7)将支撑硅片层胶接在柔性衬底层上，完成制作。

CN106783897A说明书1/4页

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一种宽光谱柔性红外探测器阵列及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及红外探测器，属于微电子机械技术领域，更具体地说，本发明涉及一种宽光谱柔性红外探测器阵列及其制作方法。

背景技术

[0002]红外探测器(InfraredDetector)是将入射的红外辐射信号转变成电信号输出的器件。红外辐射是波长介于可见光与微波之间的电磁波，人眼察觉不到。要察觉这种辐射的存在并测量其强弱，必须把它转变成可以察觉和测量的其他物理量。一般说来，红外辐射照射物体所引起的任何效应，只要效果可以测量而且足够灵敏，均可用来度量红外辐射的强弱。现代红外探测器所利用的主要是红外热效应和光电效应。这些效应的输出