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电子洁净工程师考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.我国洁净室空气洁净度等级标准中，1级洁净室每立方米≥0.5μm粒子数不超过______个。（10）

2.洁净室常用的末端过滤装置缩写是______。（FFU）

3.HEPA过滤器的全称是______。（高效空气过滤器）

4.电子洁净室通常要求的相对湿度范围多在______%RH之间。（40-60）

5.洁净室与相邻区域的压差应至少保持______Pa。（5）

6.洁净室中常用的静电消除装置是______。（离子风机）

7.进入洁净室前必须更换的防护装备是______。（洁净服）

8.洁净室中需控制的气态污染物举1例：______。（VOC）

9.单向流洁净室的气流速度通常为______m/s。（0.3-0.5）

10.洁净室过滤器检漏常用方法是______。（PAO检漏法）

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.下列洁净度等级最高的是？（A）

A.1级B.10级C.100级D.1000级

2.FFU的主要作用是？（A）

A.过滤+送风B.调节温度C.检测粒子D.消除静电

3.洁净室与外界的压差方向应为？（A）

A.洁净室→外界B.外界→洁净室C.无固定方向D.随温度变

4.HEPA对≥0.3μm粒子的过滤效率至少为？（B）

A.95%B.99.97%C.99.999%D.100%

5.静电放电可能导致的电子危害