半导体厂光刻胶泄漏应急演练脚本.docxVIP

半导体厂光刻胶泄漏应急演练脚本

演练前准备

人员部署

本次演练涉及半导体厂光刻车间、应急指挥中心、EHS（环境、健康与安全）部、设备工程部、生产部、医疗急救组、消防组、后勤保障组共8个组别，参演人员总计32人。其中光刻车间现场参演10人（含2名泄漏触发人员、3名第一响应者、5名岗位操作员），应急指挥中心由生产总监、EHS经理、设备总监共3人组成指挥核心，EHS部4人负责现场监测与合规记录，设备工程部5人负责设备隔离与故障排查，医疗急救组3人携带专业急救装备在车间待命，消防组4人配备防化服与灭火装置驻守车间外围，后勤保障组3人负责物资补给与临时隔离设施搭建。

演练前1小时，所有参演人员完成岗位培训：光刻车间人员重点掌握光刻胶泄漏初期识别、个人防护装备（PPE）快速穿戴及应急停机流程；应急指挥组熟悉《半导体厂危险化学品泄漏应急预案》分级响应机制，明确Ⅰ级（重大泄漏）、Ⅱ级（一般泄漏）触发条件；EHS部人员校准便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）、pH计、可燃气体检测仪等监测设备，确保数据精准度达到99.5%以上；医疗急救组完成急救箱物资清点，补充2套洗消设备、5瓶生理盐水及3支抗组胺药物。

物资与场景布置

演练场景设定为光刻车间F3区1号ASMLNXE:3600DEUV光刻机光刻胶供液模块泄漏，泄漏源为供液管路接头密封老化，初始泄漏量约200ml/分钟（模拟Ⅱ级泄漏升级Ⅰ