半导体器件物理.pdf

《半导体器件物理》

实验指导书

光电工程学院

实验一高频光电导法测量硅中少子寿命

一、实验目的

非平衡少数载流子(少子)寿命是半导体材料与器件的一个重要参数。其测量方法主要有稳态法和瞬

态法。高频光电导衰退法是瞬态测量方法,它可以通过直接观测少子的复合衰减过程,测得其寿命。本实

验通过采用高频光电导衰退法测量高阻硅的少子寿命,加深学生对半导体非平衡载流子理论的理解,使

学生学会用高频光电导测试仪和示波器测量半导体少子寿命。

二、实验仪器

LT-2型少

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