CN107256923A 一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法 （郑州工商学院）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107256923A

(43)申请公布日2017.10.17

(21)申请号201610749279.2

(22)申请日2016.08.29

(71)申请人郑州工商学院

地址451400河南省郑州市郑州新区职教

园区前程北路8号(郑州校区)

(72)发明人韩芍娜赵艳伟陈凤华黄海松赵娜

(74)专利代理机构郑州优盾知识产权代理有限公司41125

代理人孙诗雨董晓慧

(51)Int.CI.

HO1L41/22(2013.01)

HO1L41/25(2013.01)

权利要求书1页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法

(57)摘要

CN107256923A本发明提出一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法，是按照下述方式制备的：(1)选择具有取向的单晶作为导电衬底；(2)采用脉冲激光沉积法(也可以采用其它方法，只要能实现外延生长即可，例如分子束外延，MBE)在衬底上生长厚度为400-600nm的压电薄膜；(3)采用脉冲激光沉积法(也可以采用其它方法，只要能实现外延生长即可，例如分子束外延，MBE)在压电薄膜上先生长导电薄膜、再生长绝缘层；在绝缘层上生长厚度为的铁电光伏层和电极。本申请通过掌握铁电多层膜的光驱动性多维度调控方法并弄清

CN107256923A

CN107256923A权利要求书1/1页

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1.一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于是按照下述方式制备的：

(1)选择具有取向的单晶作为导电衬底；

(2)在衬底上生长厚度为100～1000nm的压电薄膜；

(3)在压电薄膜上先生长导电薄膜、再生长绝缘层；在绝缘层上生长厚度为400～600nm的铁电光伏层和电极。

2.根据权利要求1所述的具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述导电衬底为具有取向的SrRu03单晶，所述导电薄膜是SrRu03薄膜。

3.根据权利要求1所述的具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述压电薄膜为锆钛酸铅锶薄膜。

4.根据权利要求1所述的具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述绝缘层为TbSc03绝缘层。

5.根据权利要求1所述的具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述铁电光伏层为BFO薄膜。

6.根据权利要求1～5之一所述的具有大光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于所述的绝缘层采用两步脉冲沉积方式制备：

a.利用掩膜遮挡电极I,生长绝缘层至于电极I等高；

b.撤去掩膜，沉积绝缘层至相应的厚度。

CN107256923A说明书1/6页

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一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种光驱动器主要材料，具体涉及一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法。

背景技术

[0002]战斗机等飞行器在现代战争(尤其是空战)中具有举足轻重的地位，其高空远程作战能力的强弱主要取决于操纵系统。随着现代战争向着数字化、信息化的方向发展，电磁环境日益恶劣、电子对抗更加激烈，提高飞行器中操纵系统的抗电磁干扰能力势在必行。驱动器是操纵系统中的关键组成部分，主要有电驱动、磁驱动及光驱动等形式。与电、磁驱动相比，光驱动器由于具有无电磁噪音干扰和无需外加电/磁场，且可实现无线远程控制、便于器件的轻量化、小型化、集成化等优点而备受青睐。

[0003]光驱动器主要依靠材料的光致伸缩效应工作，该类材料主要有非极性半导体、铁电材料、液晶弹性体。其中，铁电材料因具有光照响应快、光致伸缩效应较强等特性成为光驱动领域关注的热点。然而，从飞行器等对动力源的要求来看，其光致伸缩效应还不够强。为此，几十年来，国内外专家学者通过调控组成和工艺、优化测试条件等在一定程度上实现了铁电材料光致形变的提高，但如何大幅增强铁电材料的光致伸缩效应仍是一个重要而且急待解决的问题。

[0004]从其原理出发进行分析：铁电材料的光致伸缩效应是光伏效应与逆压电效应的耦合(即在光照下由于铁电材料的光伏效应而产生光生电压，然后在该电压提供的电场作用下，由于铁电材料的逆压