CN107840305B 一种芯片原子钟的mems原子腔的制作方法 （北京无线电计量测试研究所）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN107840305B公告日2019.05.10

(21)申请号201711111653.7

(22)申请日2017.11.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107840305A

(43)申请公布日2018.03.27

(73)专利权人北京无线电计量测试研究所

地址100854北京市海淀区北京142信箱

408分箱

(72)发明人张振伟陈星杨仁福

(74)专利代理机构北京正理专利代理有限公司11257

代理人付生辉

GO4F5/14(2006.01)

(56)对比文件

CN102259825A,2011.11.30,全文.CN102491259A,2012.06.13,全文.

CN102807188A,2012.12.05,全文.CN104555905A,2015.04.29,全文.

CN103941576A,2014.07.23,全文.

US2013043956A1,2013.02.21,全文.KR20160013122A,2016.02.03,全文.

审查员薛蕾

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