CN105425384B 一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法 （西北工业大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105425384B公告日2018.05.15

(21)申请号201510764692.1

(22)申请日2015.11.11

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105425384A

(43)申请公布日2016.03.23

(73)专利权人西北工业大学

地址710072陕西省西安市友谊西路127号

(72)发明人虞益挺朱全发苑伟政

(74)专利代理机构西北工业大学专利中心

(56)对比文件

CN104062700A,2014.09.24,说明书第75-114,227段、附图2-3,9-10.

US2007257565A1,2007.11.08,说明书第

3,8-10,77段.

CN202600340U,2012.12.12,全文.

审查员秦玉珍

61204

代理人吕湘连

(51)Int.CI.

GO2B26/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图9页

(54)发明名称

一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

(57)摘要

CN105425384B本发明公开了一种电磁驱