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复合溶胶-凝胶法制备锰酸锶镧薄膜工艺及性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与电子技术飞速发展的背景下，具有特殊物理性能的功能材料成为研究热点。锰酸锶镧（La_{1-x}Sr_{x}MnO_{3}，简称LSMO）薄膜作为一种典型的稀土钙钛矿结构材料，因其独特的物理性质，在众多领域展现出巨大的应用潜力。

从热敏电阻领域来看，LSMO薄膜具有明显的负温度系数（NTC）特征，这使得其电阻值会随温度的升高而显著降低。这种特性使其有潜力作为新一代负温度系数热敏电阻的基础材料。与传统热敏电阻材料相比，LSMO薄膜热敏电阻有望在高温环境下保持更稳定的性能，并且通过对其进行掺杂等手段，可以精确控制其电阻-温度关系，从而获得更理想的阻-温性能，满足不同场景下对温度精确测量与控制的需求。

在传感器领域，将LSMO薄膜涂覆在适宜的基底上，结合其优异的高温性能与电阻温度特性，有望开发出能够直接接触酸、碱和腐蚀性气体环境的实用温度传感器。在化工生产、环境监测等领域，这类传感器可以实时准确地测量恶劣环境中的温度，为生产过程控制和环境参数监测提供关键数据，具有极高的实用价值。

复合溶胶-凝胶法作为一种制备薄膜材料的重要方法，具有诸多优点。它可以在相对较低的温度下进行制备，有利于避免高温对薄膜结构和性能的不利影响；能够精确控制薄膜的化学组成和微观结构，保证薄膜性能