干涉测量技术.pptVIP

Ch12干涉测量术;由于科学技术的进步，干涉测量技;特点：具有更高的精度和灵敏度（;应用测位移（微纳工作台）测直线;干涉(Interferenc;无标题;干涉原理光干涉的基础是光波的叠;两平面波干涉位相差两光束到达某;无标题;干涉条件通常能够产生干涉条纹的;干涉条纹对比度可定义为式中，;条纹对比度受哪些因素影响？光源;影响干涉条纹对比度的因素①光源;各种波长干涉条纹的叠加λλ+Δ;在波动光学中，把光通过相干长度;影响干涉条纹对比度的因素②光源;光阑孔大小对干涉条纹对比度的影;在干涉测量中，采取尽量减小光源;影响干涉条纹对比度的因素③相干;非期望的杂散光进入干涉场，会严;影响干涉条纹对比度的因素③相干;影响干涉条纹对比度的因素小结：;怎样获得两束相干光？分波前分振;分波前法将光源发出的球面波/平;ThomasYoungRay;FresnelLloyd;FresnelPrismMi;BilletMeslin;分振幅法光源发出的光束，通过反;FizeauPlate;JaminMach-Zehnd;Michelsonbirefr;等倾干涉与等厚干涉等倾干涉：;等厚干涉：;无标题;干涉仪(Interferome;AlbertAbraham;由M2反射的光束可以当作是从它;M2M1M2M2M2M2M2M;吐级;吞级;移级;干涉测量系统组成1.激光干涉系;无标题;无标题;激光干涉仪中的光源最主要的要;“米”的定义米原器：铂铱合金氪;干涉仪中的常用反射镜平面反射器;干涉仪的光路布局共光路原则：测;干涉仪的光路布局;光学倍频;干涉仪中的移相器：在干涉信号后;机械法移相;狭缝移相;阶梯板移相;翼形板移相;偏振移相;干涉条纹计数如果只有一组干涉条;判向计数原理干涉条纹计数时，通;1、2—光电元件；3—干涉条纹;sincos00(sin)(;干涉信号鉴相细分要实现纳米测量;大气修正大气条件的影响;（1）利用Edlen公式修正：;折射率测量干涉仪;无标题;外差干涉单频激光干涉仪的光强信;外差干涉的光源塞曼激光器：在H;无标题;扫描探测器（xi,yi）基准;双频激光干涉仪光路图测量反射镜;谢谢大家！ThankYou！