CN103376486A 一种介质膜光栅的制作方法 （福州高意光学有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103376486A

(43)申请公布日2013.10.30

(21)申请号201210105951.6

(22)申请日2012.04.12

(71)申请人福州高意光学有限公司

地址350001福建省福州市晋安区福新东路

253号中航技工业小区

(72)发明人林磊黄富泉周孝莲代会娜李广伟张新汉

(74)专利代理机构福建炼海律师事务所35215代理人许育辉

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种介质膜光栅的制作方法

(57)摘要

CN103376486A本发明涉及光栅制作技术领域，公开了一种介质膜光栅的制作方法，首先制作母光栅；然后采用镀膜沉积技术在母光栅的光栅面上镀介质膜层；之后利用热塑性粘结剂将一光栅基片粘结于介质膜层上；最后将母光栅与介质膜层分离，得到由光栅基片与介质膜层构成的介质膜光栅；其中，在镀膜沉积过程中，通过控制和改变膜料的沉积方向和沉积速率，在母光栅的光栅面上形成周期倒梯形结构的介质膜层。本发明通过控制膜料沉积方向和速度，来控制介质膜光栅的膜层结构及厚度，避免了一