CN103376484A 一种采用LiftOff原理制作光栅的方法 （福州高意光学有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103376484A

(43)申请公布日2013.10.30

(21)申请号201210105946.5

(22)申请日2012.04.12

(71)申请人福州高意光学有限公司

地址350001福建省福州市晋安区福新东路

253号中航技工业小区

(72)发明人林磊黄富泉周孝莲代会娜李广伟张新汉

(74)专利代理机构福建炼海律师事务所35215代理人许育辉

(51)Int.CI.

GO2BGO2BGO3H

5/18(2006.01)

5/32(2006.01)

1/18(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种采用Lift-Off原理制作光栅的方法

(57)摘要

CN103376484A本发明涉及光栅制作技术领域，公开了一种采用Lift-Off原理制作光栅的方法，首先在一光栅基片上制作光刻胶全息光栅；然后采用镀膜沉积技术在光刻胶全息光栅的光栅面上镀介质膜层；最后洗除光刻胶层，留下沉积在光栅基片上的介质膜层，构成介质膜光栅；在镀膜沉积过程中，介质膜料垂直沉积于光刻胶全息光栅的光栅面上，且介质膜层厚度低于光刻胶全息光栅的光刻胶槽深。