CN104090335A 一种平面光波导器件的制作方法 （四川飞阳科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104090335A

(43)申请公布日2014.10.08

(21)申请号201410370431.7

(22)申请日2014.07.30

(71)申请人四川飞阳科技有限公司

地址610209四川省成都市双流县西南航空

港经济开发区长城路一段185号

(72)发明人王杉李朝阳

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人王宝筠

(51)Int.CI.

GO2B6/13(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种平面光波导器件的制作方法

(57)摘要

本发明提供一种平面光波导器件的制作方法，包括：提供表面形成有硼磷硅玻璃膜层的平面光波导器件的半成品；将所述半成品放置在退火管中；向所述退火管中通入含氧气的保护气体，为所述退火管内提供富氧氛围；加热所述退火管，使所述退火管内部的温度上升至1050℃以上，对所述半成品进行高温退火，以对所述半成品表面进行平坦化。本发明中在高温退火过程中，向退火管中通入含氧气的保护气体，为硼磷硅玻璃膜层回流退火提供一个富氧氛围，由于氧能够有效抑制掺杂离子在二氧化硅玻璃膜层中的扩散，从而