CN104245572A Cigs系太阳能电池用合金的制作方法 （日本麦可罗尼克斯股份有限公司）.docxVIP

(12)发明专利申请(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104245572A

(43)申请公布日2014.12.24

(21)申请号201380010987.9

(22)申请日2013.02.06

(30)优先权数据

2012-0407722012.02.27JP

2012-0407742012.02.27JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2014.08.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2013/0526992013.02.06

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2013/129044JA2013.09.06

(71)申请人日本麦可罗尼克斯股份有限公司地址日本东京都

(72)发明人吉野贤二永冈章

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243

代理人钟晶於毓桢

(51)Int.CI.

CO1B19/00(2006.01)

C22C9/00(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

HO1L31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书13页附图20页

(54)发明名称

CIGS系太阳能电池用合金的制作方法

(57)摘要

CN104245572A本发明提供一种太阳能电池用合金的制作方法，将铜、铟、镓、硒和硫作为原材料进行混合，真空封入到安瓿中，加热安瓿，通过熔体生长使安瓿内的原材料结晶化。原材料铜、铟和镓可以是形成铟镓铜(CIG)的晶体，并将该CIG晶体粉碎而粉末化。由此，可在与S、Se的结晶化中获得高品质的晶体。铟镓铜晶体由下述工序制作：真空封入工序，将铜、铟和镓作为原材料进行混合，真空封入到安瓿中；CIG结晶化工序，加热安瓿，通过熔体生长使安瓿内的原材料结晶化。将

CN104245572A

1Q显示CIGS溅射粑的制作方法的舰念的流荘图

溅封靶制作开始

溅封靶制作开始

疼Cn、In.fa、8,8e混合昇真空树入到要数中。

加热安凯并适过熔体生长进行结晶化，

s3

将C165S晶体切片。

减射靶制作完成

CN104245572A权利要求书1/1页

2

1.一种作为太阳能电池用光吸收层材料的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，包括：

真空封入工序，将铜、铟、镓、硒和硫作为原材料进行混合，真空封入到安瓿中，和CIGSS结晶化工序，加热所述安瓿，通过熔体生长使安瓿内的原材料结晶化。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，真空封入到所述安瓿中的铜、铟和镓的原材料是将铟镓铜晶体粉碎而粉末化得到。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，所述铟镓铜晶体由下述工序制作：

真空封入工序，将铜、铟和镓作为原材料进行混合，真空封入到所述安瓿中，和CIG结晶化工序，加热所述安瓿，通过熔体生长使安瓿内的原材料结晶化。

4.根据权利要求2～3所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，由下述工序制作：

CIGS结晶化工序，在被粉碎的铟镓铜晶体中仅混合硒，真空封入到安瓿中，加热所述安瓿，通过熔体生长使安瓿内的原材料结晶化。

5.根据权利要求1～4所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，所述安瓿被碳涂覆。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，所述安瓿为石英玻璃。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，所述CIGSS结晶化工序包括：

通过升温使温度在180～220°维持一定时间的第一温度步骤，使温度在1000~1100°维持一定时间的第二温度步骤。

8.根据权利要求3所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，所述CIG结晶化工序中，通过升温使温度为1000～1100°并维持一定时间。

9.根据权利要求4所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，4元系的所述CIGS合金结晶化工序中，进行下述温度控制：将温度以每1小时100℃以下进行升温，维持1000～1100℃的温度6小时以上，将温度以每1小时100℃以上进行降温，恢复到室温。

10.一种太阳能电池用溅射靶的制作方法，其特征在于，将权利要求1、3和4中的太阳能电池用合金进行切片而制作。

11.一种太阳能电池用溅射靶的制