CN104409495A 直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104409495A

(43)申请公布日2015.03.11

(21)申请号201410660230.0

(22)申请日2014.11.18

(71)申请人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维郝跃范举胜董萌

刘红侠杨林安王冲郑雪峰

张金风

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1L29/778(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

HO1L29/06(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

直角栅场板异质结场效应晶体管及其制作方法

护

护磨

直角棚场板10

如化层

栅极7漏极5

势垒层3

台面6

衬底!

过渡层2

源极4

凹接9

CN104409495A本发明公开了一种直角栅场板