CN104409480B 绝缘栅型直角源场板高电子迁移率器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104409480B公告日2017.05.10

(21)申请号201410658088.6

(22)申请日2014.11.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104409480A

(43)申请公布日2015.03.11

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维郝跃杨翠李洋洋王冲郑雪峰杜鸣刘红侠曹艳荣

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1L29/40(2006.01)

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/335(2006.01)

HO1L21/28(2006.01)

(56)对比文件

CN101414625A,2009.04.22,

US2009/0261384A1,2009.10.22,CN103137476A,2013.06.05,

US2013/0313613A