CN104409480A 绝缘栅型直角源场板高电子迁移率器件及其制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN104409480A布日2015.03.11

(21)申请号201410658088.6

(22)申请日2014.11.18

(71)申请人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人毛维郝跃杨翠李洋洋王冲郑雪峰杜鸣刘红侠曹艳荣

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

61205

代理人王品华朱红星

(51)Int.CI.

HO1LHO1L

HO1LHO1L

29/40(2006.01)

29/778(2006.01)

21/335(2006.01)

21/28(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

绝缘栅型直角源场板高电子迁移率器件及其制作方法

保护层n直角源场板11

保护层n

直角源场板11

纯化层9凹痛10

绝缘栅极8源极4绝缘介质层

势垒层3

过渡层2台面6

村底!

CN104409480A本发明公开了一种绝缘栅型直角源场板高电子迁移率器件及其制作方法，主要解决现有场板