CN104409216A 一种Ta2O5RuO2Ta电容器的制作方法 （贵州中航聚电科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104409216A

(43)申请公布日2015.03.11

(21)申请号201410720477.7

(22)申请日2014.12.01

(71)申请人贵州中航聚电科技有限公司

地址550009贵州省贵阳市经济技术开发区

开发大道126号小孟工业园5号标准厂

房

(72)发明人陆胜施洪权陈华飞刘英秀

(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002

代理人谷庆红

(51)Int.CI.

HO1G9/07(2006.01)

HO1G11/86(2013.01)

权利要求书3页说明书8页

(54)发明名称

一种Ta?O?-RuO?/Ta电容器的制作方法

(57)摘要

CN104409216A本发明提供了一种Ta?O?-RuO?/Ta电容器的制作方法，属于电子元器件制造的技术领域，通过该方法制成Ta?O?-Ru0?/Ta电容器的Ta?O?阳极介质层和RuO?阴极介质层结构稳定，有较大的比表面积、优良的电子导电和质子传输能力，在充放电时，能够快速的进行充放电，有着较高的比容量和

CN104409216A

CN104409216A权利要求书1/3页

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1.一种Ta?O?-RuO?/Ta电容器的制作方法，其特征在于：包括钽阳极芯和钽阴极筒压制和烧结，Ta?O?介质膜制作，电解电容液制作，钽基RuO?阴极介质层制作，以及电容器组装，其中：

Ta?O?介质膜制作步骤为：

(1)制作氧化形成液，采用乙二醇：去离子水比例为1:1～2混合液为溶剂，加入H?PO?溶液和Ag?SO?,使磷酸的质量浓度0.08wt%～0.8wt%,Ag?SO?的质量浓度0.01wt%~0.05wt%;

(2)冷却氧化形成液，采用冷却系统将该氧化形成液的温度控制在-5℃~5℃;

(3)对钽阳极芯预处理，用浓度为0.1wt%～3wt%的甲苯磺酸铁溶液对钽阳极芯进行预处理，处理温度为10～30min,其溶剂为乙醇、甲醇、正丁醇中的一种；

(4)制作介质氧化膜，将阳极芯块浸入氧化形成液中，对阳极芯块进行通电，并且使升压电流密度为8mA/g～30mA/g范围内，最初升压电流密度为20mA/g～30mA/g,阳极芯块上电压每升压12V,恒压20min～30min,每次恒压结束后将升压电流密度减小3～4mA/g,最小减小到8mA/g,直到电容器阳极芯块正负极电压升到预定的电压值，恒压5h～6h后断开电源，所述的预定的电压值为电容器额定电压的3～5倍；

(5)稳定介质氧化膜，待阳极芯块上电压降到1V以下时，将形成有氧化膜层的阳极芯块从氧化形成液中取出，并置于温度90℃的去离子水中煮洗30min-120min,将阳极芯块内部的氧化形成液全部煮洗干净；放入真空度为2×10?3Torr以上、温度为200～300℃的真空炉中热处理20～60min;然后将经过热处理的阳极芯块浸入温度为160℃~180℃氧化剂溶液中进行电化学处理1～2小时，施加电压为电容器额定电压的0.8倍～1.2倍，将经过钝化处理的阳极芯块洗净，烘干备用。

钽基RuO?阴极介质制作步骤为：

(1)制作钌源溶液，钌源溶于到异丙醇溶液，加入阳离子表面活性剂，分散；

所述的钌源为三氯化钌、间异丙基甲苯氯化钌、乙酰丙酮钌、三氯化六铵合钌、亚硝酰基硝酸钌中的1种或2种的混合；

所述阳离子表面活性剂为十六烷基三甲基季铵溴化物、十二胺、十八烷基胺盐酸盐、双十八烷基胺盐酸盐、苯扎氯铵、十二烷基二甲基苯基溴化磷、十二烷基二甲基苄基氯化铵、氯化十二烷基吡啶、四正丁基氯化铵、三正辛基甲基氯化铵、苄基三乙基氯化铵中的1种或2种的混合；

(2)向钌源溶液中加入1～5%的氧化性金属粉末，所述的氧化性金属粉末为氧化铜、氧化钾、氧化锰、无水硫酸铜、高锰酸钾中的一种或多种；

(3)加入1～3%增稠剂，所述的增稠剂为聚丙烯酰胺、钛酸酯、阿拉伯树胶、硅凝胶；

(4)对钽阴极筒预处理，用浓度为0.05wt%～1wt%的甲苯磺酸铁溶液对钽阴极筒内壁进行预处理，处理时间为10～30min,处理完毕后倒出，其溶剂为乙醇、甲醇、正丁醇中的

一种；

(5)将步骤(3)得到的溶液倒入步骤(4)处理后的阴极筒中，倒入量为阴极筒容积的1/10～1/6,然后放入60～70℃的环境中进行