CN104090335B 一种平面光波导器件的制作方法 （四川飞阳科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104090335B公告日2017.02.15

(21)申请号201410370431.7

(22)申请日2014.07.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104090335A

(43)申请公布日2014.10.08

(73)专利权人四川飞阳科技有限公司

地址610209四川省成都市双流县西南航

空港经济开发区长城路一段185号

(72)发明人王杉李朝阳

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人王宝筠

(51)Int.CI.

(56)对比文件

CN

CN

CN

US

1614452

1159590

1947215

5059475

A,2005.05.11,

A,1997.09.17,

A,2007.04.11,

A,1991.10.22,

审查员王玉秀

GO2B6/13(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种平面光波导器件的制作方法

(57)摘要

CN104090335B本发明提供一种平面光波导器件的制作方法，包括：提供表面形成有硼磷硅玻璃膜层的平面光波导器件的半成品；将所述半成品放