CN103972178A 用于加工载体的方法和用于制作电荷储存存储基元的方法 （英飞凌科技德累斯顿有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103972178A

(43)申请公布日2014.08.06

(21)申请号201410041554.6

(22)申请日2014.01.28

(30)优先权数据

13/7511852013.01.28US

HO1L27/115(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

(71)申请人英飞凌科技德累斯顿有限责任公司地址德国德累斯顿

(72)发明人W.朗海因里希J.鲍威尔

M.勒里希岑柏湛M.施蒂夫廷格

R.施特伦茨

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001

代理人王岳徐红燕

(51)Int.CI.

HO1L21/8247(2006.01)

HO1L21/762(2006.01)

权利要求书3页说明书21页附图11页

(54)发明名称

用于加工载体的方法和用于制作电荷储存存储基元的方法

(57)摘要

CN103972178A本发明涉及用于加工载体的方法和用于制作电荷储存存储基元的方法。一种根据各种实施例的用于加工载体的方法可包括：在载体上方形成结构